판매용 중고 KOKUSAI DJ-813 #9269428
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KOKUSAI DJ-813은 반도체, 광전자, 의료, 야금 등 다양한 산업에서 생산용으로 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 고급 용광로 (Advanced Furnace) 는 오늘날 시중에서 다른 확산 용광로 (Diffusion Fornace) 에 비해 탁월한 유연성을 제공합니다. DJ-813 의 로드 용량은 최대 13 인치 (wafer) 이며, 여러 웨이퍼를 더 짧은 시간 안에 처리할 수 있습니다. 다운타임을 줄이고 생산성을 향상시키는 데 도움이 됩니다. 이 용광로에는 사용하기 쉬운 인터페이스를 갖춘 직관적인 MFM-2 터치 컨트롤 시스템 (MFM-2 Touch Control System) 도 장착되어 있습니다. 따라서 매개변수를 쉽게 설정하고 온도, 시간, 전원 설정을 조정할 수 있습니다. 코쿠사이 (KOKUSAI) DJ-813은 가공 영역뿐만 아니라 전체 챔버의 균일 한 가열을 보장하는 독특한 사이드 월 방사선 가열 시스템을 사용합니다. 용광로는 공정 결과에서 뛰어난 균일성을 제공하는 고급 고성능 절연체로 구성됩니다. 단열은 또한 효과적인 열 소산을 제공하면서 에너지 소비를 최소화하는 데 도움이됩니다. 또한, 퍼니스는 향상된 낮은 열 구배 모드를 특징으로하여 웨이퍼 처리 정확도를 높입니다. DJ-813에는 처리 및 유지 관리를 개선하기 위해 여러 액세서리가 함께 제공됩니다. 여기에는 연기 조절 및 통풍을위한 배기 포트, 가스 냉각을위한 방외 (ante-chamber) 및 유해 물질 방출을위한 배기 벨이 포함됩니다. 용광로에는 또한 글러브 박스 (glove box) 와 전후 공정 가스 여과를위한 퇴화 챔버 (degassing chamber) 가 있습니다. 또한 KOKUSAI DJ-813에는 최첨단 센서와 탁월한 온도 정확도와 안정성을 위한 정확한 온도 컨트롤러가 장착되어 있습니다. DJ-813 은 탁월한 성능과 고급 기능으로 인해 모든 운영 환경에 이상적인 선택입니다. 컴팩트한 디자인과 뛰어난 열 단열재 (thermal insulation) 는 모든 프로세스에 적합한 옵션입니다. 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 광범위한 액세서리 옵션을 통해 매개변수를 쉽게 설정하고 용광로를 유지할 수 있습니다. 이것이 KOKUSAI DJ-813이 대용량 생산 환경에 이상적인 확산 로입니다.
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