판매용 중고 KOKUSAI DJ-813 #141295

KOKUSAI DJ-813은 금속 증착 및 유전체 에칭을 포함한 웨이퍼 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 퍼니스는 가열되지 않은 웨이퍼 처리, 수평 핫 월 스타일 기능, 최대 2 개의 프로세스 시퀀스 (process sequence) 를 통해 여러 프로세스 조합을 수행 할 수 있습니다. DJ-813에는 확산 난방 및 냉각을위한 13 인치 석영 튜브가 장착되어 있습니다. 이 튜브는 최소한의 변화로 온도 균일성을 달성하도록 설계되었습니다. 또한 프레임, 온도 영역 (temperature zone) 및 전력 영역 (power zone) 구조는 온도를 균일하게 유지하는 데 도움이되므로 저온 처리에 이상적입니다. 인접한 웨이퍼 핸들러는 조정 가능하며, 한 번에 최대 4 개의 웨이퍼를 수용 할 수 있습니다. KOKUSAI DJ-813은 금속 증착과 유전체 에칭에 모두 사용될 수 있습니다. 컨트롤러 소프트웨어는 시퀀스 전반에 걸쳐 프로세스 조건을 최적화하도록 설계되었습니다. 포함된 아날로그 또는 디지털 PID 컨트롤러로 높은 정밀도 온도 조절이 가능합니다. 전원 공급 장치에는 여러 개의 출력이 있으며 고주파 IGBT 생성기 (High Frequency IGBT Generator) 가 있어 백그라운드 소음이 적은 높은 공정 온도에 도달 할 수 있습니다. 퍼니스에는 프로그래밍 가능한 타이머, 게이트 믹서 및 여러 웨이퍼 뚜껑도 포함됩니다. 뚜껑은 화학 물질을 처리하기 위해 가스 타이트 물개를 제공하여 교차 오염을 방지합니다. 게이트 믹서는 정확한 화학 혼합을 허용하여 오염 위험을 줄입니다. 타이머는 여러 자동 시작 (auto-start) 및 자동 정지 (auto-stop) 작업을 위해 프로그래밍되어 수동 개입의 필요성을 줄일 수 있습니다. 전반적으로, DJ-813은 저온 처리 및 다중 프로세스 조합이 가능한 고성능 확산 로와 액세서리 제품군입니다. 이 제품은 wafer 처리 어플리케이션에 이상적인 솔루션으로, 빠르고 정확한 온도 조절, 균일성, 웨이퍼 처리 기능을 제공합니다.