판매용 중고 KOKUSAI DJ-803V-H #9249163

KOKUSAI DJ-803V-H
ID: 9249163
웨이퍼 크기: 8"
Vertical diffusion furnace, 8" Process: LP-SiN.
KOKUSAI DJ-803V-H는 반도체 및 광전자 제품 제조를위한 전문 확산 로입니다. "실리콘 웨이퍼 '," 쿼츠' 및 그 밖 의 여러 가지 기판 들 과 같은 기판 물질 을 제어 하는 "도핑 '을 수행 하기 위하여 정밀 작업 을 할 수 있다. DJ-803V-H는 고급 전원 제어 시스템 (power control system) 으로 인해 고급 난방 제어를 제공하는 3 개의 존 히터가있는 수직 로입니다. 이를 통해 기판의 정확하고 심지어 가열이 가능하며, 단일 구역 (single-zone) 용광로와 비교할 때 전반적인 성능과 품질이 향상됩니다. 또한, 펄스 발사 버전 (pulse fired version) 덕분에 높은 수준의 정밀도가 필요한 상황에서는 정확한 온도 제어에 사용될 수 있습니다. KOKUSAI DJ-803V-H에는 난방 구역을 분리하는 석영 튜브 (quartz tube) 가 장착되어 있으므로 모든 난방 표면에서 균일 한 온도를 보장합니다. 이것은 핫스팟 없이도 더 많은 난방을 가능하게하며, 더 높은 생산량을 촉진합니다. 또한 자동 리프트 로더 (Automatic Lift Loader) 시스템 (옵션) 이 제공되어 기판을 용광로로 간단히 로드하고 언로드할 수 있습니다. 이는 고급 자동 분배 시스템 (Auto-Distribution System) 과 함께 사용할 때 특히 유용합니다. 고급 자동 분포 시스템 (Advanced Auto-Distribution System) 과 함께 사용하면 용광로 내부의 기판을 균등하게 분배하여 안정적이고 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. 주요 확산 기능 외에도, DJ-803V-H는 어닐링 (annealing) 작업에 사용될 수 있으며, 정밀 확산 또는 어닐링이 필요한 응용 분야에 완벽한 솔루션을 제공합니다. 용광로 어닐링 (Furnace Annealing) 및 산화 작업 (Oxidation Operation) 에 사용할 수있는 액세서리 및 구성 요소로 구성하여 제조 환경에 이상적인 선택이 가능합니다. 전반적으로 KOKUSAI DJ-803V-H는 믿을 수 없을 정도로 안정적이며 비교할 수없는 정밀도를 제공하는 고급 확산 로입니다. 고도확산 (Advanced Dedusion) 과 어닐링 (Annealing) 작업을 수행할 수 있는 방법을 찾고 있는 사람들이 높은 수준의 정확성과 반복성을 가지고 있는 것은 완벽한 것입니다. 리프트 로더 (옵션) 및 자동 분배 옵션으로 설치 및 작동이 용이해지며, 난방 구역을 분리하는 쿼츠 튜브 (quartz tube) 는 다른 용광로 모델보다 더 균일한 난방 효과를 제공합니다.
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