판매용 중고 KOKUSAI DJ-803V-H #9248594

KOKUSAI DJ-803V-H
ID: 9248594
웨이퍼 크기: 8"
Vertical diffusion furnace, 8" Process: LP-SiN.
KOKUSAI DJ-803V-H는 매우 정밀한 층 재료를 생산하는 데 사용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 확산 퍼니스는 우수한 열 균일성, 더 큰 생산 능력, 향상된 신뢰성 등 다양한 이점을 제공합니다. DJ-803V-H의 고성능 기능은 고유한 기능을 통해 구현됩니다. 이 모델에는 다양한 양극 전압 (anode voltage) 에서 안정화 된 플라즈마 강도를 제공하는 향상된 RF 전원 섹션이 포함되어 있습니다. 이것은 차례로 확산 과정에서 더 많은 정밀도를 허용합니다. 또한 온도 조절 시스템 (Temperature Control System) 은 개선 된 상하 속도 (Up/Down Rate) 를 제공하여 처리 챔버에서 균일 한 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 내장 가스 교반 기능도 깨끗하고 균일 한 결과를 보장합니다. 이 기능 은 "가스 '흐름 에서 고압 과 저압" 펄스' 를 번갈아 사용 함 으로써, 처리 구역 에 있는 원자 들 을 보다 효과적 으로 혼합 할 수 있게 되며, 이것 은 포함 을 감소 시키고 통일 을 촉진 시킨다. KOKUSAI DJ-803V-H에는 여러 가지 고급 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 압력 모니터링 시스템 (pressure monitoring system) 과 안전 차단 밸브 (safety-off valves) 가 포함됩니다. 또한, 용광로에는 긴급 차단 (emergency shoff) 및 긴급 냉각 기능이 장착되어 있어 열 관련 문제로 인한 사고 또는 오작동을 예방할 수 있습니다. 또한 DJ-803V-H 에는 다양한 오븐 도어 (oven door) 디자인이 포함되어 있어 동일한 챔버에서 다양한 유형의 재료를 처리 할 수 있습니다. 이렇게 하면 처리 시간이 단축되고 운영 효율이 향상됩니다. 전반적으로 KOKUSAI DJ-803V-H는 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리로, 확산 프로세스에 뛰어난 성능을 제공합니다. 이 모델은 효율적인 열 균일성 (heat unifority), 생산성 향상, 신뢰성 향상, 고급 안전 (safety) 기능을 통해 다양한 재료를 처리해야 하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.
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