판매용 중고 KOKUSAI DJ-1223VN #293763020
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ID: 293763020
웨이퍼 크기: 12"
Diffusion furnaces, 12"
Process: SI3N4
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, Single phase / 440 V, 3 Phase.
KOKUSAI DJ-1223VN은 확산 로로, 재결정, 에피 택시, 다공성 밀봉 및 도펀트 활성화에 가장 일반적으로 사용됩니다. 전자제품 처리 (Electronics Processing) 와 관련된 다양한 종류의 어플리케이션을 처리할 수 있는 효율성과 정밀도를 능가하는 고급 (Advanced) 유형의 장비다. DJ-1223VN은 증착실, 가스 확산 펌프 (gas diffusion pump), 기판 냉각 장비와 같은 신뢰할 수있는 구성 요소 집합과 함께 제공되어 확산 공정에 신뢰할 수있는 안정적인 플랫폼을 제공합니다. 증착실 (deposition chamber) 은 고급 재료를 사용하여 설계되었으며, 열 처리에 필요한 더 높은 열 수준을 가질 수 있습니다. 이는 또한 다양한 프로세스 단계에 필요한 시간을 줄이는 데 도움이되며, 따라서 몇 가지 애플리케이션별 확산 실행 (application-specific diffusion run) 에 적절한 시간을 허용합니다. KOKUSAI DJ-1223VN의 가스 확산 펌프에는 로터리 베인 타입 및 루트 타입 송풍기, 사이드 채널 송풍기 및 교육자 타입 가스 전달 시스템 등 다양한 부품이 포함됩니다. 전체 확산 과정을 수행하는 데 필요한 높은 수준의 정확도, 정밀도, 열 주기 (thermal cycle) 를 사용자에게 제공합니다. DJ-1223VN의 기판 냉각 장치 (Substrate cooling unit) 에는 효율적인 냉각 팬 머신이 장착되어 있어 탁월한 냉각 성능을 보장합니다. 또한, 2 개의 독립적 인 챔버 냉각 시스템 (chamber cooling system) 을 사용하면 열 구배를 최소화하고 기판의 넓은 영역에 대한 균일 성을 최대화하는 데 도움이됩니다. KOKUSAI DJ-1223VN에는 위의 구성 요소 외에도 서셉터, 지그, 평면 형 전극, 대피기, 사출 장치, 내부 냉각 재킷 및 제어 시스템을 포함한 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이러한 모든 구성 요소는 사용자가 탁월한 성능과 유연성을 갖춘 확산 프로세스를 제공합니다. 케이크에 대한 착빙 (icing) 으로서, DJ-1223VN의 제어 도구는 사용자 친화적이며 터치 스크린 자산을 통해 편리하게 작동 할 수 있습니다. 전반적으로 KOKUSAI DJ-1223VN은 안정적이고 효율적인 확산 용광로 및 액세서리입니다. 구성 요소와 부속품 (accessory) 의 호스트를 통해, 사용자는 어려운 애플리케이션별 확산 실행에 필요한 탁월한 정확성, 유연성, 열 주기를 제공합니다.
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