판매용 중고 KOKUSAI DD-853V #9272625

KOKUSAI DD-853V는 가장 엄격한 요구 사항을 충족하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 시스템은 다양한 확산 프로세스에 대한 균일성, 정밀성, 반복성의 탁월한 조합을 제공합니다. 사용자에게 친숙한 컨트롤은 중요한 epi, dye, ion implantation 및 기타 확산 응용프로그램을 위한 안정적이고, 빠르고, 정확한 단위를 제공합니다. KOKUSAI DD 853V는 스테인리스 스틸 지붕과 사이드 월이있는 스테인리스 스틸 반응 챔버를 갖추고 있습니다. 챔버 (chamber) 는 쉽게 접근 할 수 있으며 웨이퍼에서 가장 안정적인 온도 및 균일 한 가열 조건을 유지하도록 설계되었습니다. 또한 섭씨 1,150 도까지의 다양한 온도에서 균일 한 가열을위한 3 단계 가열기 (three-stage heating machine) 를 갖추고 있어 광범위한 처리 매개변수가 가능합니다. 또한, 약실 은 또한 특수 물개 설계 를 통하여 독성 물질 의 통풍 과 활성물질 의 휘발성 을 감소 시킨다. 그 에 더하여, "에너지 '는" 에너지' 를 소모 한다. KOKUSAI는 또한 가장 구체적인 프로세스 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 기능과 액세서리를 제공합니다. 여기에는 전기 에너지 제어, 매우 정확한 열전대 및 석영 관측 창이 포함됩니다. 온도 조절 도구 (thermocouple tool) 는 내장 온도 컨트롤러와 열 조정으로 용광로를 보다 안정적이고 정확한 온도 조절을 제공합니다. 쿼츠 (Quartz) 관찰 창을 사용하면 프로세스 기록 (Process History) 을 그대로 측정하여 확산 프로세스를 보다 정확하게 제어할 수 있습니다. 또한, 창은 질적 검사를 위해 방해받지 않는 뷰를 제공합니다. 또한 DD-853V (DD-853V) 에는 불활성 가스의 지속적인 공급을 제공하는 퍼징 에셋 (purging asset) 이 장착되어 있으며, 유독 물질에 대한 환경의 위험을 방지하는 배기 모델이 특징입니다. 이렇게 하면 사용자와 제품이 모두 안전해집니다. 또한 유지 보수 작업과 비용을 절감합니다. 이 장비는 또한 장치를 신속하게 재설정하도록 설계된 독특한 퍼니스 리셋팅 시스템 (Furnace Resetting System) 을 갖추고 있어 시동 시간이 단축되고 생산 효율이 향상됩니다. 마지막으로, DD 853V는 사용자 친화적인 컨트롤과 손쉽게 읽고 이해할 수 있는 대용량 LCD 모니터로 설계되었습니다. 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 사용하면 모든 매개변수를 빠르고 쉽게 제어할 수 있으므로 모든 레벨의 사용자에게 이상적인 선택이 가능합니다. KOKUSAI DD-853V는 정확하고 균일 한 확산 프로세스가 필요한 사람들에게 이상적인 기계입니다. 신빙성 있고, 빠르고, 정확한 기능을 갖춘 KOKUSAI DD 853V는 생산 시설과 연구 실험실 모두에게 이상적인 도구입니다.