판매용 중고 KOKUSAI DD-853V #9133268
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ID: 9133268
빈티지: 1997
Vertical diffusion furnace,
Process gas: N2,H2
Temp controller: CQ1600
IO port type: 26 slot flat zone
1997 vintage.
KOKUSAI DD-853V는 가장 정확한 어플리케이션을 위해 설계된 유명한 확산 용광로 및 액세서리입니다. 이 단위는 확산 또는 증착 과정에서 고온을 제어할 때 반도체 산업 (semiconductor industry) 에 사용하도록 설계되었습니다. 최대 1300 ° C (2372 ° F) 의 온도를 처리 할 수 있으며 최대 ± 3 ° C (5 ° F) 의 프로세스 온도를 유지할 수있는 뛰어난 열 균일 성을 가지고 있습니다. 6 인치 (150mm) ID의 길이 28 인치 (710mm) 와 4 인치 (100mm) ID의 길이 21 인치 (530mm) 의 더 작은 모델 인 두 가지 크기로 제공됩니다. KOKUSAI DD 853V는 효율성과 신뢰성을 위한 다양한 기능을 제공합니다. 고품질 석영 튜브 (quartz tube) 로, 내구성과 밀폐 무결성을 제공하면서 오염을 피한다. 고급 전원 공급 장치 (Advanced Power Supply) 는 열을 정확하게 제어하여 일관된 결과를 얻을 수 있도록 광범위한 전압 및 전류 설정을 제공합니다. 컨트롤러는 전원 설정에 대한 빠른 액세스 및 타이밍 (timing), 프로세스 모드 (process modes) 및 최대 9 개의 레시피 (recipe) 에 대한 액세스를 제공합니다. DD-853V에는 다양한 안전 기능이 장착되어 있습니다. 여기에는 위험 조건이 발생하지 않도록 임시 보호 (overtemperature protection) 및 연동 (interlock) 기능이 모두 포함됩니다. 용광로 의 내부 는 청소 하기 쉽고, "쿼츠 '관 에 접근 하기 위하여 후퇴 할 수 있는 난방 구역 을 이용 하여 유지 한다. 견고한 껍질 (ruggedized shell) 은 전자 부품이 손상되지 않도록 보호하며, 산소가없는 가열 공간은 확산 챔버의 산화를 방지하는 데 도움이됩니다. DD 853V 는 반도체 처리 애플리케이션에 사용하기 위한 뛰어난 확산 로와 액세서리입니다. 높은 온도 처리 능력, 뛰어난 열 균일성 (thermal unifority) 유지, 뛰어난 품질, 신뢰할 수 있는 성능을 제공합니다. 광범위한 전압 (Voltage) 및 전류 (Current) 설정은 난방 프로세스를 정확하게 제어하는 반면, 포괄적인 안전 기능은 효율적이고 안정적인 작동을 보장합니다. 반도체 생산에 사용되는 모든 시설은 KOKUSAI DD-853V 확산 로의 혜택을 누릴 수 있습니다.
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