판매용 중고 KOKUSAI DD-853 #9131345

KOKUSAI DD-853은 실리콘 및 복합 반도체 제조 및 개발의 요구 사항을 충족시키기 위해 특별히 설계된 고성능 확산 로입니다. 저온 드라이브 인 및 저온 폴리 실리콘 증착에 대해 SAP (Sequential Anneal Process) 를 수행 할 수 있습니다. 용광로는 고온 난로 챔버 (harth chamber) 로 구성되어 있으며, 조정 가능한 위치와 함께 최대 6076 개의 샘플 스틱을 적재하도록 설계되었습니다. 온도는 섭씨 25도 (T-Slope Control) 에서 섭씨 1000도까지 조정할 수 있으며, 문제없이 장기간 유지할 수 있습니다. 퍼니스는 또한 저밀도 탄소 제어 냉각 장비 (low-density carbon-controlled cooling equipment) 를 갖추고 있으며, 이는 확산 과정에서 샘플의 정확한 온도 조절 및 균일 한 냉각을 보장합니다. DD-853에는 산소 및 질소 대기를위한 자동 제어 시스템 및 아르곤, 수소, 메탄과 같은 다른 가스가 있습니다. 정확한 샘플 확산을 위해 3 단계 압력/온도 자동 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 또한 이 장치에는 두 개의 냉각 포트와 잠금 포트 (locking port) 가 있어 적절한 샘플 로드 및 언로드를 보장합니다. KOKUSAI DD-853과 함께 제공되는 액세서리 (accessorie) 에는 확산 스틱에 샘플을 적재하는 드라이버, 공정의 정확한 모니터링을위한 타이머, 용광로가 더 빨리 마모되는 것을 방지하는 진공 청소기/정화기가 포함됩니다. 또한 DD-853 에는 비정상적인 작업 시 사용자를 보호하기 위한 안전 경보기 (Safety Alarm Machine) 가 내장되어 있습니다. 모니터와 알람 (alarm) 버튼을 비롯한 다양한 센서와 표시기가 함께 제공됩니다. 내부 시스템은 최적의 프로세스를 보장하기 위해 온도, 압력, 가스 구성을 모니터링하도록 설계되었습니다. KOKUSAI DD-853 (KOKUSAI DD-853) 은 시장에서 가장 발전된 확산 용광로 중 하나이며, 모든 생산 및 연구 요구에 적합한 솔루션입니다. 디디 853 (DD-853) 은 장기적 안정성과 안전성, 그리고 다양한 액세서리 (accessorie) 를 갖춘 반도체 생산· 개발에 이상적인 선택이다.