판매용 중고 KOKUSAI DD-823V #9026261

KOKUSAI DD-823V는 최첨단 확산 로로, 리토, PECVD 및 RTP 어플리케이션에 최첨단 정밀도 및 성능을 제공합니다. DD-823V는 빠른 웨이퍼 처리를 위해 정확하고 반복 가능한 비접촉 웨이퍼 온도 측정을 위해 고속, 다중 파 길이 다중 광 센서 시스템 (Optical Sensor System) 으로 설계되었습니다. 또한 가변 압력이있는 고급 흐름 제어 기술 (Flow Control Technology) 을 사용하여 가스의 높은 정밀 제어를 달성합니다. KOKUSAI DD-823V는 프로세스의 고급 열 관리를 통합했으며, 온도 램프, 백그라운드 압력 유지 관리, 다양한 심층 진공 옵션 등의 벤치마크 기능을 갖추고 있습니다. 용광로 시스템은 정확하고 반복 가능한 성능으로 온도 조절, 가스 흐름, 시간 주기를 관리합니다. DD-823V 확산 로는 반도체 생산을 위해 증착 및 산화 작업을 모두 할 수 있습니다. 확산 로에는 우수한 성능을 제공하는 데 도움이 되는 여러 가지 주요 기능이 있습니다 (영문). 이러한 기능에는 다양한 가스 소스의 빠르고 쉬운 연결, 이중 세라믹 난방 요소, 저항성 난방 요소, 쿼츠 챔버, 헤비듀티 메탈 바디, 정교한 컨트롤러를위한 외부 가스 박스 (gas box) 가 포함됩니다. 뛰어난 온도 균일성, 뛰어난 반복성 및 뛰어난 온도 조절을 제공합니다. KOKUSAI DD-823V 확산 로도 다양한 액세서리와 옵션을 제공합니다. 여기에는 다양한 언어 옵션, 실시간 모니터 프로그램, 진공 누수 검사기, 안전 전원 차단 시스템, 긴급 정지 (Emergency Stop) 스위치 등 다양한 안전 시스템이 포함된 터치 스크린 패널 스타일 컨트롤러가 포함됩니다. 또한 다양한 조정 가능한 종 (bell) 과 버너 (burner) 가 제공되어 용광로 경험을 완벽하게 사용자 정의할 수 있습니다. DD-823V 확산 용광로 (DD-823V) 를 산업용, 연구용 실험실 및 제작용 설정에 이상적인 선택으로 만들 수 있습니다. 고정밀도 웨이퍼 처리 기능, 정확한 온도 균일성, 가스 흐름 및 시간 주기에 대한 더 큰 제어, KOKUSAI DD-823V는 모든 것을 제공 할 수 있습니다.