판매용 중고 KOKUSAI DD-823V-8PL #9236896

KOKUSAI DD-823V-8PL
ID: 9236896
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Furnace, 8" SMIF Process: H2 Anneal 1997 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8PL은 반도체 제조 응용 분야에 이상적인 고급 확산 용광로 및 액세서리 세트입니다. 이 장치에는 우수한 온도 균일성을 제공하는 오븐 챔버 (oven chamber) 와 우수한 열 사이클링을 제공하는 다중 세그먼트 히터 (multi-segment heater) 가 있습니다. 주 챔버에는 각 구역마다 정밀 프로그램 된 조닝 (zoning) 열전대 및 독립 히터가 장착되어 있으며, 고온 산화 및 질소 생성 기능이 최대 1600 '입니다. 가스 챔버 (gas chamber) 는 기질의 양쪽에서 균일 한 가스 흐름을 제공하며, 고온 도핑 및 화학 반응을위한 광범위한 가스 혼합물 (gas mixture) 이 있습니다. 전체 퍼니스 (furnace) 패키지에는 리모콘 패널, 압력 제어 장치, 실시간 모니터링 시스템, 고급 안전 (safety) 기능이 포함됩니다. 컨트롤 패널을 사용하면 온도, 압력, 가스 흐름, 멀리서 다른 설정을 쉽게 조정할 수 있습니다. 압력 조절 장치 (pressure control unit) 는 배기 공기 를 막고 공기 의 흐름 을 정확 하게 제어 함 으로써 "오븐 '실 에서 정확 하고 안정 된 압력 을 준다. 실시간 모니터링 및 안전 (Safety) 기능은 용광로가 최고 성능 및 최고 안전에서 작동하도록 보장합니다. DD-823V-8PL에는 다양한 강력한 기능과 기능이 제공됩니다. 자동 프로세스 시퀀스 기능을 사용하면 연산자가 여러 프로세스를 순서대로 실행할 수 있습니다. 이 용광로 (furnace) 는 또한 시점 개방 (timed-opening) 기능을 갖추고 있으며, 문 (door) 의 손상과 오염 가능성을 피하고 정밀한 시간 개통을 허용합니다. 분할 뷰 (Split-view) 옵션은 외부에서 작업하는 동안 연산자에게 챔버 내부를 볼 수 있는 기능을 제공하여 작업 중에 챔버 (chamber) 로 들어올 필요가 없습니다. KOKUSAI DD-823V-8PL은 뛰어난 온도 균일성, 고급 안전 기능 및 강력한 기능을 갖춘 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로입니다. 이 장치는 일체형 용광로 (All-in-one Furnace) 및 액세서리 패키지를 찾는 반도체 제조 업계에 이상적인 제품입니다.
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