판매용 중고 KOKUSAI DD-823V-8PL #9188431

KOKUSAI DD-823V-8PL
ID: 9188431
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1997
Furnace, 8" SMIF Process: H2 Anneal 1997 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8PL은 다양한 기능을 갖춘 고온 확산 로와 액세서리 장비입니다. DD-823V-8PL은 생산 애플리케이션뿐만 아니라 반도체, 전자 제품에서 R & D를 지원하도록 설계되었습니다. 용광로의 최대 작동 온도는 1150 C이며 최대 내부 크기는 519 x 480 x 300 mm입니다. 시스템에는 용광로 온도를 필요한 범위 내에 유지하는 온보드 냉각 장치 (integrated cooling unit) 가 있습니다. 용광로는 매우 효율적이며 균일 한 온도 분포를 보장합니다. KOKUSAI DD-823V-8PL에는 정확하고, 빠르고, 일관된 온도 제어를 위해 다중 제어 모드가있는 고속, 멀티 포인트 프로파일 컨트롤러가 있습니다. 용광로에는 온도 프로파일의 전체 분석을 위해 실시간 데이터 로깅 (data-logging) 기능도 제공됩니다. 용광로에는 에너지 소비를 낮게 유지하는 에너지 절약 제어 (energy-saving control) 기능이 장착되어 있습니다. DD-823V-8PL 액세서리 머신에는 다양한 액세서리가 포함되어 있어 확산 로의 성능을 더욱 향상시킵니다. 이러한 액세서리에는 튜브 히터, 난로, 도가니, 어닐링 튜브, 수냉식 열 보호 플레이트 및 IRF가 포함됩니다. 튜브 히터는 진공로 작동에서 다양한 응용을 찾는 부식 내성 세라믹 튜브 (ceramic tube) 로 구성됩니다. 난로는 산화 알루미늄으로 덮인 흑연으로 구성되어 있으며, 부식 및 산화 저항을 보장하며, 난방 고온 단열재가 장착되어 있습니다. 도가니는 확산 과정의 뛰어난 성능을 위해 석영으로 만들어졌습니다. 어닐링 튜브는 확산 프로세스의 품질 결과를 달성하도록 설계되었습니다. 수냉식 열 보호 플레이트는 주변 물질에 대한 열 손상을 방지하는 반면, IRF는 균일 한 온도 분포를 유지합니다. 또한, 용광로는 유지 관리 작업이 용이하여 뛰어난 용광로 성능을 보장합니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 내구성 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 세라믹 섬유 머플은 열 손실을 줄이는 데 도움이됩니다. 또한 냉각 도구는 냉각 지느러미 (cooling fin) 와 핀 지느러미 (pin-fin) 배열로 구성되어 냉각 성능을 효율화합니다. 용광로는 균일 한 공기 순환을위한 터보 팬으로 설계되었습니다. KOKUSAI DD-823V-8PL 확산 로와 액세서리 자산은 다양한 연구 및 생산 응용 분야에 이상적인 선택입니다. 고온 용광로는 온도가 균일하고 냉각 성능이 우수하며, 액세서리는 다양한 확산 공정에 적합합니다. 손쉬운 유지보수 및 능률적인 운영으로, 이 확산 용광로 (diffusion furnace) 와 액세서리 (accessory) 모델은 실험실 및 생산 프로세스에 적합한 선택입니다.
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