판매용 중고 KOKUSAI DD-823V-8BL #9188430
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KOKUSAI DD-823V-8BL 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 마이크로 전자 장치의 제작에서 동시에 도핑 및 어닐링 프로세스에 사용되는 고성능 장비입니다. 650 ° C 최대 온도 설정과 Silicon, Germanium, Aluminum, Boron, Gallium 및 Indium을 포함한 다양한 재료의 확산을 위해 설계된 8 인치 석영 튜브 퍼니스 챔버가 특징입니다. 이 용광로는 또한 챔버 (chamber) 로 기판을 옮길 수있는 쿼츠 보트 (quartz boat) 를 내장하고 있으며, 여러 기판을 병렬로 확산시키기 위해 추가 부품 선반이 있습니다. 또한 최대 8 "직경과 1/8" 두께의 샘플을 처리 할 수 있습니다. DD-823V-8BL 용광로는 직접 흐름 SL-2000V 시리즈 온도 컨트롤러가있는 모든 디지털 디자인을 사용하여 정확한 온도 조절 및 균일 한 온도 분배를 달성합니다. 디지털 컨트롤러는 일련의 열전대 접합 (thermocouple junction) 상자를 사용하여 온도를 측정하고 모니터링합니다. 추가 균일성을 위해, 대류 열 전달을 가능하게하기 위해 재순환 팬이 포함됩니다. 용광로는 또한 과잉 온도 제한 제어 (overtemperature limit control), 비상 차단 스위치, 안전 표시등 등의 표준 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이 확산 퍼니스는 3 단계 로터리 베인 진공 펌프로 구성된 통합 진공 시스템 (integrated vacuum system) 과 함께 제공되어 높은 진공 작동과 챔버 대기의 빠른 감소를 가능하게합니다. 이 시스템은 깨끗하기 쉬운 디자인의 고효율 입자 필터를 갖추고 있습니다. 또한, 용광로에는 확산 방패, 확산 도가니, 백킹 플레이트, 메쉬 (mesh) 가 장착되어 챔버 내부로의 재료 확산을 용이하게합니다. KOKUSAI DD-823V-8BL은 비접촉 IR 옵티컬 센서를 사용하여 모든 표준 액세서리와 정확한 샘플 온도 프로파일링 및 호환성을 보장합니다. 직관적이고 사용자에게 친숙한 디자인 컨트롤도 특징이며, 운영 및 유지 보수가 용이합니다. 용광로 (furnace) 는 챔버 (chamber) 상단 근처에 단일 자기 걸쇠로 설계되어 쉽게 청소하고 접근할 수 있습니다. 전반적으로, DD-823V-8BL 확산 퍼니스 (DD-823V-8BL Diffusion Furnace) 는 마이크로 전자 장치의 생산에서 안정적인 도핑 및 어닐링 프로세스를 위해 강력한 기능을 갖춘 고정밀 및 고급 기기입니다.
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