판매용 중고 KOKUSAI DD-813V #9071567

KOKUSAI DD-813V는 반도체 처리에 사용되는 확산 로입니다. 수동 로드 및 언로드 기능이 장착 된 수직 튜브 타입 퍼니스입니다. 용광로의 높이는 800mm이고 내부 직경은 200mm입니다. DD-813V의 표준 작동 온도는 최대 1100 ° C입니다. KOKUSAI DD-813V에는 광범위한 확산 기능이 있습니다. 산화물 및 질화물 증착 공정이 모두 가능합니다. 확산 과정의 모든 주기는 최대 8 시간 지속될 수 있습니다. 또한, 퍼니스는 공정의 안정성을 보장하는 멀티 포인트 온도 모니터링 장비를 특징으로합니다. 또한, 시스템을 비상시 용광로 및 사용자를 보호하기 위해 비상 차단 제어 (Emergency Shut-off Control) 메커니즘이 장착되어 있습니다. 이 장치에는 다양한 액세서리 (accessorry) 가 장착되어 있어 안전성을 보장하고 확산 프로세스의 품질을 향상시킵니다. 이러한 액세서리에는 냉각 팬, 안전 도어, 하단 트레이 리프트, 배기 콘센트, 물 입구, 전기 펌프, 액체 질소 접근 및 질소 방전 호스가 포함됩니다. 이 구성 요소는 확산 공정 (different diffusion process) 동안 챔버의 온도와 산소 수준을 제어하여 기계의 안전한 작동을 보장하도록 설계되었습니다. 프로세스 반복성을 보장하기 위해 DD-813V 는 온보드 메모리 기능을 통해 필요한 모든 매개변수를 저장합니다. 이를 통해 확산 과정에서 쉽게 최적화하고 제어할 수 있습니다. 이 툴은 또한 Remote Monitoring and Maintenance, Host Asset Communication, Ethernet 지원, 데이터 로깅 및 추세 분석, 온도 기록 검토 등 다양한 통신 기능을 제공합니다. KOKUSAI DD-813V 확산은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과를 제공하는 강력한 모델입니다. 오늘날 가장 까다로운 반도체 프로세스를 위해 설계되었으며, 가장 까다로운 환경에서도 안정적인 운영을 제공합니다. 이 장비의 가격은 합리적이며 반도체 프로세싱에서 돈의 가치를 제공합니다.