판매용 중고 KOKUSAI DD-813V #293622155

KOKUSAI DD-813V는 일본 최고의 제조업체의 확산 용광로 및 액세서리 모델입니다. 반도체 재료의 연구 및 개발을 위해 설계되었으며, 산화 (asoxidation), 질화 (nitridation) 및 실리콘 도핑 (silicon-doping) 과 같은 광범위한 확산 작업에 사용됩니다. 수직 구조의 석영 튜브 퍼니스와 3 개의 독립 존 (zone) 이 있으며 각 영역은 독립적으로 제어됩니다. 용광로는 뛰어난 균질성과 정확성으로 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. DD-813V 는 고급 자동화 기능을 통해 높은 프로세스 재생성과 장기적인 안정성을 제공합니다. 컬러 터치 패널 컨트롤러가 장착되어 있어 시스템 작동을 빠르고 정확하게 수행할 수 있습니다 (영문). 제어 장치 (Control Unit) 는 프로세스 조건에 대한 실시간 모니터링을 제공하며, 사용자는 최대 10 개의 다른 레시피에 대한 확산 프로세스 매개변수를 저장할 수 있습니다. KOKUSAI DD-813V 퍼니스에는 정확한 온도 조절과 빠른 난방/냉각 기능이 장착되어 있습니다. 이것은 용광로의 길이에 걸쳐 정확한 온도 균일성을 보장하고 섬세한 반도체 재료에 대한 스트레스를 줄입니다. 또한 효율적인 가스 흐름 제어 (gas flow control) 를 특징으로하며, 확산 영역 전체에서 더 나은 균질성을 제공하며, 다른 확산 레시피에 대한 가스 흐름을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 용광로는 세라믹 절연 및 강제 공기 냉각 시스템 덕분에 입자 및 기타 불순물을 줄이기 위해 설계되었습니다. DD-813V 는 빠르고 정확한 확산 작업을 위해 설계된 매우 안정적이고 견고한 툴입니다. 컴팩트한 디자인이 특징이며, 최소한의 유지 보수가 필요하므로 귀중한 처리 시간이 단축됩니다. KOKUSAI DD-813V 는 정밀 확산 프로세스를 수행하기 위한 이상적인 솔루션으로, 사용자가 최고의 품질을 얻을 수 있도록 해 줍니다.