판매용 중고 KOKUSAI DD-813V-BL #293651964

KOKUSAI DD-813V-BL은 박막 및 집적 회로의 열 처리를 위해 특별히 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 확산 로 는 고급 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며" 흑연 히터' 를 사용 하여 고온 작동 과 "어닐링 '의 안정성 을 제공 한다. 용광로는 5 "x 8" 흑연 서셉터에서 최대 1200 "C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 빠른 냉각 장비와 특허를받은 멀티 존 (multi-zone) 온도 제어 시스템이 있습니다. DD-813V-BL 퍼니스에는 가변 주파수 제어 (variable frequency control) 가 장착되어 있어 처리 시간과 온도가 정확합니다. 이 도어는 안전 도어 래치 장치 (safety-door latch unit) 로 만들어졌으며, 용광로 도어의 실수로 인한 열 스트레스로부터 보호됩니다. 이 확산 퍼니스에는 어닐링 프로세스 제어를위한 컴퓨터 네트워크 포트 (computer network port) 와 프로그래밍 가능한 입/출력 시스템 (input/output machine) 이 있습니다. 용광로에는 스테인레스 스틸 링 (stainless steel ring) 과 절연판 (insulation plate) 으로 구성된 석영 튜브 서셉터 (quartz tube susceptor) 가 포함되어 있어 열 수용이 적고 기판이 손상됩니다. KOKUSAI는 프로세스 챔버의 온도를 정확하게 유지하기 위해 쿼츠 튜브 서셉터에 정밀 서모커플을 설치했습니다. 이 확산 로에는 최적의 생산을 할 수있는 다양한 기술이 있습니다. 수직 및 수평 확산, 증기 및 화학 증기 증착을 모두 수행 할 수 있습니다. 용광로는 열 손실을 줄이고 결과의 재생성을 보장하기 위해 가스 블랭킷 챔버 (gas-blanket chamber) 로 설계되었습니다. KOKUSAI DD-813V-BL 공정 챔버는 액세스 및 유지 보수가 용이하며, 작동 후 빠르고 쉽게 정리할 수 있습니다. DD-813V-BL 확산 광로 및 액세소리는 박막 및 집적 회로 열 처리에 이상적인 솔루션입니다. 이 기능은 환경, 물리적, 화학적 연구, 개발, 생산을위한 안정적이고 효율적인 도구입니다. 다중 영역 온도 조절 (multi-zone temperon control), 석영 튜브 서셉터 (quartz tube susceptor) 와 같은 용광로의 광범위한 기능을 통해 품질 결과와 비교할 수없는 성능을 제공합니다.