판매용 중고 KOKUSAI DD-803V #9105647
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KOKUSAI DD-803V (KOKUSAI DD-803V) 는 고급 기술 기능을 활용하여 온도 조절, 가스 흐름, 온도 균일성을 정확하고 반복적으로 얻을 수있는 고급 확산 로와 액세서리입니다. 이 용광로 는 불순물 이 "실리콘 '기판 및 기타 반도체 재료 로 확산 될 때 와 같은 확산 과정 에 이상적 이다. KOKUSAI DD-803-V의 중심에는 56 개의 Micro 컨트롤러 PID 모듈과 16 개의 조절 된 다운 플로우 히터 존으로 구성된 고급 난방 시스템이 있습니다. 마이크로 컨트롤러 (Micro Controller) PID 모듈은 정밀한 온도 제어를 위해 각 개별 영역의 온도를 조절하여 전체 히터 존 (heater zone) 의 온도 구배를 제거하여 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. DD-803V 는 프로세스 가스를 원하는 히터 (heater) 영역에 분산시키고, 프로세스 가스의 직접/간접 흐름을 정확하고 반복적으로 제어할 수 있는 고성능 4 포트 가스 매니 폴드를 갖추고 있습니다. "가스 '혼합기 도 포함 되어, 공정 의 어느 순간 이든지" 가스' 혼합물 의 정확 한 흐름 을 가능 케 한다. 또한, DD-803-V 에는 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있는 quartz view 창이 내장되어 있습니다. KOKUSAI DD-803V는 프로그래밍이 가능하며 내장형 LCD 터치 패널 (옵션) 또는 제공된 소프트웨어가 있는 컴퓨터를 통해 제어할 수 있습니다. 따라서 프로세스의 모든 요소를 간편하게 모니터링, 제어하고, 향후 참조를 위해 성능 데이터를 기록할 수 있습니다. KOKUSAI DD-803-V는 여러 가지 안전 기능도 제공합니다. 여기에는 초과 온도 보호 (over temperature protection) 가 포함되며 응급 상황의 경우 운영자를 보호하는 데 도움이됩니다. 또한, DD-803V는 수동 통풍구, 비상 정지 버튼, 내열 물질의 외부 껍질 (shell) 을위한 자동 압력 완화 밸브 (pressure relief valve) 를 사용하여 내부 부품을 고온으로부터 보호합니다. 요컨대, DD-803-V 는 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 로와 액세서리로, 다양한 확산 프로세스에 대해 정확하고 반복 가능한 결과를 제공합니다. 고급 난방 시스템, 4 포트 가스 매니 폴드, 가스 믹서, LCD 터치 패널 및 수많은 안전 기능으로 반도체 재료 생산을위한 신뢰할 수있는 도구입니다.
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