판매용 중고 KOKUSAI DD-803V #9075132
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KOKUSAI DD-803V (KOKUSAI DD-803V) 는 광범위한 반도체 재료를 신속하게 처리하기 위해 설계된 고급 확산로 및 액세서리입니다. 이 제품은 정교 하고 사용자 친화적 인 기능을 갖춘 완전 자동화 장비 (fully automated equipment) 장비로, 운영 및 분석 기능이 향상되었습니다. 이 시스템은 자재 증착률 (material deposition rate) 과 품질 (quality) 을 정확하게 제어하기 위해 디지털 교정 장치가있는 자동 가스 흐름 제어 패널을 갖추고 있습니다. 이것은 확산 공정 챔버 (diffusion process chamber), 압력 (pressure) 및 가스 유속 (gas flow rate) 의 온도를 정확하게 제어함으로써 촉진됩니다. 안정적이고 빠른 가열기는 챔버 전체에서 최대 1100 ° C의 균일 한 처리 온도를 가능하게합니다. 또한, KOKUSAI DD-803-V에는 향상된 밀도 균일 성과 지형을 위해 통합 진공 수용원이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 기판 표면에 균일한 확산 프로파일이 생성됩니다. 확산 도구는 또한 프로세스 제어 중에 균일한 두께 정확도와 정확한 온도 측정에 대한 자동 제로 (Auto Zero) 조정을 제공합니다. DD-803V는 고객 정의 레시피 제어가 지원 소프트웨어를 통해 가능하도록 매우 정확합니다. 이 고급 소프트웨어는 사용자에게 친숙한 작업을 제공하며, 완벽한 데이터 로깅 및 분석을 가능하게 합니다. 또한, 통합 프로세스 제어는 다양한 자산 매개변수에 대한 실시간 성능 모니터링을 가능하게 합니다. DD-803-V에는 안전 기능과 마이크로 프로세서 기반 시스템이 포함되어 있어 안전한 작동을 보장합니다. 여기에는 PID 제어 난방 모델, 결함 및 경보 장비 및 준비 탐지가 포함됩니다. 마지막으로, 최대 성능 및 안전성을 보장하기 위해 이 시스템은 국제 표준에 따라 구축되며, 여러 가지 최상위 (top-of-the-line) 기능이 포함되어 있습니다. 가장 까다로운 반도체 생산 환경의 요구를 충족시키기 위해 설계된, 매우 신뢰할 수 있는 확산 로 (diffusion furnace) 장치입니다.
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