판매용 중고 KOKUSAI DD-802V #9105434

KOKUSAI DD-802V
ID: 9105434
웨이퍼 크기: 6"
Furnace, 6" Oxidation configuration.
KOKUSAI DD-802V는 박막 증착을 연구하기위한 확산 로입니다. 이 최상위 장치는 독립적으로 제어되고 프로그래밍 가능한 2 개의 메인 챔버를 갖추고 있습니다. 각 챔버 (chamber) 의 고온은 최대 900ß C이며, 내장 센서 및 온도 컨트롤러가 완비되어 정밀 제어 및 정확성을 제공합니다. 또한 DD-802V 에는 저온 프리 어닐링 튜브 (pre-annealing tube) 와 별도의 컨트롤러가 있으며, 빠르고 효율적인 기판 처리를 위해 전동 웨이퍼 로딩 로봇이 있습니다. 프리미엄 구성 및 고급 진행 기술을 갖춘 KOKUSAI DD-802V는 저항, 대류 및 방사성 오븐 히터의 조합을 사용하여 균일 한 가열을 제공하고 정확한 결과를 보장합니다. 고품질 난방 (heating) 요소는 가장 좋은 높이에 위치하여 웨이퍼의 균일 한 난방을 보장합니다. DD-802V 고유의 열 단열재는 프로세스 전반에 걸쳐 더 많은 에너지 효율성과 더 큰 일관성을 제공합니다. KOKUSAI DD-802V에는 다양한 액세서리가 포함되어 있어 편리하고 손쉽게 작동할 수 있습니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (touchscreen interface) 는 장치의 모든 기능을 제어하는 데 사용되며, 기본 기능은 물론, 정확한 제어를 위한 사용자 정의 가능한 설정이 있습니다. 안전 추가를 위해 제어 시스템에는 시간, 열, 온도에 따라 여러 개의 경보 (alarm) 및 안전 차단 (safety shutdown) 이 있습니다. 고급 자동 가스 흐름 제어 시스템 (Automatic Gas-Flow Control System) 에 의해 성능이 더욱 향상되어 처리 중 속도와 응답성이 향상됩니다. 이 장치 는 공정 이나 "시퀀스 '를 반복 하도록" 프로그램' 될 수 있으며, 정밀 함 없이 효율성 을 향상 시킬 수 있다. 또한 최적의 성능과 정확한 분석을위한 가스 제거 시스템을 갖추고 있습니다. DD-802V Diffusion Furnace는 연구 실험실 및 생산 시설에서 박막 증착에 이상적입니다. 신뢰성이 높고 정확하며, 가장 까다로운 어플리케이션에서도 효율성을 극대화할 수 있습니다. 뛰어난 구성 요소와 정교한 설계는 최적의 정밀도 (precision) 와 결과 (result) 를 제공하는 반면, 광범위한 액세서리는 작동과 유지 보수가 매우 쉽습니다.
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