판매용 중고 KOKUSAI DD-802V #9068939

KOKUSAI DD-802V
ID: 9068939
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion furnaces, 6".
KOKUSAI DD-802V 확산 로는 불순물을 기판으로 확산시켜 복합 재료, 전기 저항 및/또는 광학 기능을 변경하는 데 사용되는 고도로 전문화 된 열 처리 장비입니다. DD-802V 는 빠르고, 정확하며, 재현 가능한 확산 처리가 필요한 생산 라인에 적합합니다. 이 시스템은 저항 가열 진공 챔버, 내장 가스 유닛 및 터보 분자 진공 펌프 세트 (turbomolecular vacuum pump set) 및 컴퓨터 제어 사용자 인터페이스로 구성됩니다. KOKUSAI DD-802V 용 진공실은 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 만들어졌으며 처리 중 포함 된 미디어의 오염을 방지하기 위해 가스가 단단합니다. 이 장치에는 정밀한 온도 조절을 위한 고정밀 온도 컨트롤러 (high-precision temperature controller) 와 빠른 온도 램프 (rapid temperature ramps) 가 장착되어 있어 품질이 향상되고 주기가 짧습니다. 챔버의 최대 온도는 섭씨 2000 ° 이며, 고정밀 저항 난방 기술을 사용하여 섭씨 ± 2 ° 로 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 가스 머신은 질소 탱크 (nitrogen tank), 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 및 들어오는 가스 흐름을 감지하고 자체 조절하도록 프로그래밍 된 고정밀 밸브로 구성됩니다. 가스공구 (Gas Tool) 는 정밀한 가스 흐름 제어를 가능하게 하며, 불순물을 추가로 분산시킬 필요없이 정확하고 반복 가능한 프로세스 결과를 제공합니다. DD-802V에는 터보 분자 진공 펌프 세트 (turbomolecular vacuum pump set) 가 있으며, 1x10 ^ -2 Pa 정도의 진공 수준뿐만 아니라, 차가운 함정 자산이 진공 실에서 미립자 및 기타 공중 오염 물질을 제거 할 수 있습니다. 이를 통해 모델이 최적의 수준으로 작동하고 있으며, 외래 입자가 확산 챔버 (diffusion chamber) 에 들어가서 결과를 오염시킬 수 없습니다. KOKUSAI DD-802V는 PC 또는 PLC 제어 사용자 인터페이스를 사용하여 설정, 작업 및 모니터링을 수행합니다. 모든 매개변수는 PC 또는 PLC (PC/PLC) 에 사용자 정의 및 저장되며, 다른 프로세스에 대한 제한된 수의 레시피에 대한 향상된 재생성과 액세스를 제공합니다. 이 장비에는 긴급 정지 버튼 (Emergency Stop Button) 과 과열 알람 버저 (Alarm Buzzer) 와 긴급 상황에서 챔버를 빠르게 식힐 수있는 비상 냉각 시스템이 있습니다. 결론적으로, DD-802V 확산 로는 정밀도가 높은 온도 제어 (temperence control) 와 낮은 제어 가능한 진공 레벨 (vacuum level) 을 통해 정확하고 재현 가능한 결과를 생성하는 고급적이고 신뢰할 수있는 수단입니다. 사용자 친화적 인 컴퓨터와 PLC 제어 사용자 인터페이스 (user interface) 는 쉽게 작동하며, 가스 장치 및 응급 안전 기능은 결과를 일관되고 안정적으로 유지합니다.
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