판매용 중고 KOKUSAI DD-1223VN #9285061
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KOKUSAI DD-1223VN은 KOKUSAI Electronic에서 개발 한 최상위 확산 로와 액세서리입니다. DD-1223VN은 증기 증착에서 질화물 및 실라이드 형성 공정에 이르기까지 다양한 응용 분야를 처리 할 수 있으며, 다양한 유형의 온도, 대기 및 화학 물질을 수용 할 수 있습니다. 이 확산 용광로는 고압 가스 시스템, 진공 밀봉 된 이중 층 절연 및 2 챔버 구조를 특징으로하여 성능 및 공정 제어를 개선 할 수 있습니다. KOKUSAI DD-1223VN의 최대 처리 온도는 1450 ° C이며 Ar 스퍼터링을 줄인 스퍼터링 방지 디자인의 5-Train 전원 공급 장치입니다. 또한 유지 보수 (low-maintenance) 디자인이 낮은 수평 방향을 가지고 있어 운영 비용을 절감할 수 있습니다. 또한 고급 온도 및 프로세스 컨트롤러는 정확성, 정확성 및 반복 가능성을 보장합니다. 이 확산은 셔틀링 처리 챔버 (Shuttling Processing Chamber) 를 사용하여 빠른 처리를 위해 플라텐으로 빠르게 웨이퍼를 반환 할 수 있습니다. 연속 로드 잠금 장치 (Continuous Load Lock) 및 연속 벨트 시스템 (Continuous Belt System) 은 처리 능률화 및 로드 오류 최소화를 지원합니다. 완전히 자동화된 Quartz Shield는 시스템 전체에서 안정적인 온도 조절을 보장합니다. DD-1223VN은 초저소형 및 초고진공 처리 기능도 제공합니다. KOKUSAI DD-1223VN으로 안전 조치가 고려되었습니다. 용광로는 유해 가스 방출을 방지하는 이중 장벽 가스 제거 안전 메커니즘과 기계적 차원의 모든 불일치를 방지하는 75 미크론 (75 micron) 의 간섭 임계 값 (interference threshold) 을 갖습니다. DD-1223VN은 모든 종류의 초고온 응용프로그램을 처리하기 위한 안정적인 확산 로와 액세서리입니다. 최신 기술과 안전 장치 (Safety Mechanism) 가 특징이며, 정확하고 고성능 샘플 처리가 필요한 조직을 위한 비용 효율적인 솔루션입니다.
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