판매용 중고 KOKUSAI DD-1223VN #9179435

KOKUSAI DD-1223VN은 박막 증착, 에피 택시, 산화 및 확산과 같은 반도체 처리 응용 분야에 사용되는 확산 용로 및 액세서리 패키지입니다. 퍼니스는 정밀 온도 조절 및 정확한 가스 흐름에 중점을 둔 시스템 컨트롤러, 확산 히터, 터보 펌프 유닛 (Turbo Pump Unit) 및 쿼츠 챔버 (Quartz Chamber) 로 구성됩니다. 시스템 컨트롤러는 3 인치 TFT LCD (터치 패널 인터페이스) 로, 온도 매개 변수를 입력하고, PID 루프를 정밀한 온도 조절, 작동 매개변수 보기 등을 설정할 수 있습니다. 확산 히터는 최고 1500 도의 온도에 도달 할 수있는 고품질, 고효율 히터이며, 온도 분포가 균일하며 1- 테트라-메틸 실란 및 실란과 같은 가스와 호환됩니다. 터보 펌프 장치는 무유 로터리 펌프를 사용하며 기본 압력 0.2Torr을 달성 할 수 있습니다. 이것은 안정적인 성능과 깨끗한 진공 상태를 보장합니다. 석영 챔버는 고온과 부식 물질을 견딜 수 있도록 설계된 퓨즈 실리카 (Fused Silica) 재료로 제작되었습니다. 약실은 직경 12 인치, 높이 8 인치의 내부 부피 25l, 처리 중 필요한 압력 조건을 유지하기 위해 압력 방출 밸브를 갖추고 있습니다. DD-1223VN (DD-1223VN) 은 모든 반도체 처리 애플리케이션에 이상적인 기능을 제공합니다. 정확한 온도 조절 및 신뢰할 수있는 가스 흐름을 통해 증착, 에피 택시 (epitaxy), 산화 (oxidation) 및 확산에 적합한 옵션을 제공합니다. 또한, 챔버의 디자인은 재료가 내부를 오염시키지 않도록 보장합니다. 이로 인해 KOKUSAI DD-1223VN은 모든 프로세스에 이상적입니다.