판매용 중고 KOKUSAI CX3000 #9291201

KOKUSAI CX3000 은 최첨단 확산 로와 액세서리 제품군으로, 난방 (heating) 및 어닐링 (annealing) 과 관련된 산업 프로세스를 효율적으로 운영할 수 있습니다. KOKUSAI CX-3000 은 에너지 소비와 운영 비용을 절감하는 컴팩트한 다기능 설계 (Compact, Multi-Function Design) 를 포함하여 업계 최고의 다양한 기술과 구성요소를 갖추고 있습니다. CX3000 oilwell 은 강력한 SUS431 스테인레스 스틸로 구성되며, 최대 7 존 (zone) 까지 구성하여 고밀도 확산을 지원합니다. CX-3000 은 또한 더 큰 기판 처리를 가능하게하기 위해 넓은 개구부가있는 진공 도어를 갖추고 있습니다. 문은 수동으로 작동 또는 전동화되어 빠르고 쉽게 액세스 할 수 있습니다. 또한, KOKUSAI CX3000 은 더 크고 무거운 기판을 적재하기 위한 자동 적재 시스템 (옵션) 을 갖추고 있으며, 내부는 긴 수명의 성능을 위해 Ni-resist 고온 등급 강철로 제작되었습니다. KOKUSAI CX-3000은 정확하고 효율적인 가스 흐름 제어를 위한 자동화된 대량 흐름 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 컨트롤러는 질량 흐름 제어 (Mass Flow Control) 를 위해 가스 흐름 수준을 조정하도록 프로그래밍 될 수 있으며, 보다 원활한 작동을 위한 경고 및 유지 관리 경보를 포함합니다. Ni-Cr-Al 합금으로 구성되며, 광범위한 작업을 위해 최대 5 개의 다른 가스 공급 (gas feeding) 을 지원할 수 있습니다. 또한 CX3000 에는 특수한 고출력 집적도 SiC (Silicon Carbide) 난방 요소가 포함되어 있습니다. 이 새로운 난방 요소는 전통적인 Mgo 코어 대신 고효율, 저에너지 실리콘 카바이드를 사용하므로, 전통적인 난방 요소에 비해 향상된 온도 균일성과 완벽한 신뢰성을 제공합니다. 강력한 SiC 난방 요소는 또한 필요한 응용 프로그램에 따라 조정 가능한 우수한 열/전기 절연, 좋은 열 전도성, 조절 가능한 전원 등급을 제공합니다. 또한 CX-3000 은 온도 및 어닐링 프로세스 (Annealing process) 도 보장하기 위해 챔버 전체에 균일 한 온도 분포 팬을 포함합니다. 효율적인 팬은 모터 제어, 3 방향 환기 시스템 (venting system) 을 사용하여 순환을 개선하고 보호 설정을 제공하여 안전한 작동을 보장합니다. 또한, KOKUSAI CX3000 은 상공 회의소의 온도 및 설정에 대한 실시간 판독값을 제공하는 전력 및 온도 모니터 (Power and Temperature Monitor) 를 포함하고, 추가 안전을 위한 열전대 (Thermocouple) 를 챔버에 포함합니다. 전반적으로 KOKUSAI CX-3000 확산로 및 액세서리 제품군은 효율적인 산업 난방 및 어닐링 프로세스를 위한 고성능 시스템을 제공합니다. 컴팩트한 크기의 CX3000 은 다기능 설계와 효율성이 뛰어난 저에너지 구성요소에 이르기까지 난방 (heating), 어닐링 (annealing) 등 업계 운영에 강력하고 안정적인 솔루션입니다.