판매용 중고 KOKUSAI CX3000 #9291195
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KOKUSAI CX3000 은 광범위한 반도체/광 디바이스를 생산할 수 있도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 완벽한 자동화, 사용 편이성, 확장성, 신뢰성 및 비용 효율성을 제공하는 고급 장비입니다. KOKUSAI CX-3000은 고급 기술을 사용하여 균일 한 온도, 고온 균일성 및 고확산 활성을 보장합니다. 뛰어난 고온 균일성과 재현 가능한 확산성을 제공합니다. 빠른 속도, 고효율 열 처리, 다양한 온도 응용에 적합합니다. 이 시스템은 견고한 스테인레스 스틸 (Stainless Steel) 구조와 더 나은 온도 균일성을 위해 활성 냉각 장치로 설계되었습니다. 냉각기는 열전기 (thermoelectric) 도구를 사용하여 열 하중 (heat load) 및 고급 공기 순환 (advanced air circulation) 자산을 제어하여 모델의 최적 온도 프로파일을 확인합니다. 용광로에는 온도 설정 포인트 (setpoint) 를 정확하게 제어하기위한 프로그래밍 가능한 타이머가 장착되어 있습니다. CX3000 은 glass-to-metal sealing, oxide film growth, dopant diffusion 등의 고품질 확산 기술을 제공합니다. 고급 가스 흐름 제어 (gas flow control), 내부 챔버 모니터링 및 안전한 작동을 보장하기 위해 유출 방지 인장이 장착되어 있습니다. 고급 결합 장비는 다양한 수평/수직 고품질 결합 방법을 제공합니다. 이 시스템에는 리프트 (lift), 지그 (jig), 전송 장치 (transfer device) 와 같은 여러 가지 추가 액세서리가 있어 더욱 다재다능합니다. 리프트 (lift) 를 사용하면 웨이퍼를 쉽게 로드하고 언로드할 수 있으며, 지그 (jig) 는 제품을 정확하게 포지셔닝하여 짝수 확산 프로세스를 보장합니다. 전송 (transfer) 디바이스를 사용하면 쉽고 빠르게 웨이퍼를 이동할 수 있어 애플리케이션 운영성이 향상됩니다. 이 장치에는 손쉬운 작동을 위한 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 와 정확한 온도 조절 및 모니터링을 위한 고속 프로그래밍 가능한 제어 (programmable control) 가 있습니다. 원격 통신 소프트웨어 (Remote Communication Software) 를 여러 시스템과 연결하여 먼 거리에서 머신을 제어할 수 있습니다. 전반적으로, CX-3000 은 광범위한 반도체/광 장치 생산을 위한 가장 첨단 기술 기반의 대량 생산 장비 중 하나입니다. 이 제품은 확산 및 열 처리 (thermal processing) 를 위한 안정적이고 비용 효율적인 솔루션을 제공하여 대용량 생산에 이상적인 솔루션입니다.
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