판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762988

KOKUSAI CX-5000
ID: 293762988
웨이퍼 크기: 12"
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-5000은 최첨단 확산 로이자 반도체 제조 공정을 위해 설계된 액세서리입니다. 이 장비는 정밀도, 효율성, 신뢰성으로 유명하며, 대용량 생산 시설 및 연구 실험실에서 선호되는 선택입니다. CX-5000 시스템의 핵심에는 반도체 웨이퍼 도핑의 핵심 구성 요소 인 확산로 (diffusion furnace) 가 있습니다. 이 용광로 (furnace) 는 견고한 구조로, 공정 챔버 전체에 균일하고 일관된 온도 분배를 보장하기 위해 고급 난방 요소를 갖추고 있습니다. 이것은 정확한 도핑 프로파일을 달성하고 높은 수준의 wafer-to-wafer 반복 성을 유지하는 데 중요합니다. KOKUSAI CX-5000 은 다양한 프로세스 기능을 제공하며, 반도체 업계의 다양한 애플리케이션에 적합합니다. 다른 장치 요구 사항 및 제작 프로세스를 수용하기 위해 비소 (As), 인 (P) 및 붕소 (B) 를 포함한 여러 도핑 기술을 지원합니다. 이 장치는 또한 제어 된 어닐링 (annealing) 및 산화 (oxidation) 단계를 통해 제작 된 장치의 성능과 신뢰성을 더욱 향상시킵니다. 확산 로와 더불어 CX-5000 은 다양한 액세서리 (accessory) 를 장착하여 효율적이고 능률적인 운영 워크플로를 제공합니다. 여기에는 확산 과정에서 도펀트 가스 (dopant gase) 와 캐리어 가스 (carrier gase) 를 정확하게 제어 할 수있는 포괄적 인 가스 전달 기계가 포함됩니다. 또한 고급 자동화 인터페이스 (Automation Interface) 를 통해 원격 모니터링 및 제어를 수행할 수 있으며, 다운타임을 최소화하고, 운영 효율성을 최적화할 수 있습니다. KOKUSAI CX-5000 은 사용자 친화적 인터페이스와 직관적인 소프트웨어 (software) 로 설계되어 기존의 제조 공정에 손쉽게 통합할 수 있도록 합니다. 이 자산은 높은 수준의 유연성을 제공하여, 프로세스 매개변수 (process parameter) 와 레시피 (recipe) 를 사용자 정의하여 특정 요구 사항을 충족하고 디바이스 성능을 최적화할 수 있습니다. 이 유연성은 반도체 (반도체) 업계의 발전하는 요구를 충족시키고, 급속히 변화하는 시장에서 경쟁력을 유지하는 데 필수적이다. CX-5000 모델의 주요 장점 중 하나는 처리량/생산량 측면에서 탁월한 성능입니다. 이 장비는 많은 수의 웨이퍼를 동시에 처리하여 사이클 (cycle) 시간을 줄이고 생산 용량을 늘릴 수 있습니다. 또한, 시스템의 고급 프로세스 제어 (process control) 기능은 도펀트 농도 및 분배의 변화를 최소화하여 더 높은 수율과 향상된 장치 성능을 초래합니다. 또한 KOKUSAI CX-5000 은 확장성을 염두에 두고 설계되었으며, 제조 요구가 증가함에 따라 운영 역량을 손쉽게 확장할 수 있습니다. 이 장치는 여러 프로세스 챔버 (process chamber) 와 액세서리 (accessory) 로 구성하여 다양한 웨이퍼 크기와 생산 볼륨을 수용할 수 있습니다. 이러한 확장성을 통해 사용자는 변화하는 시장 요구에 적응할 수 있고, 반도체 업계의 경쟁력을 유지할 수 있습니다 (영문). 전반적으로 CX-5000 확산 로와 액세서리는 반도체 웨이퍼 프로세싱을 위한 포괄적인 솔루션을 제공하여 탁월한 성능, 안정성, 효율성을 제공합니다. 고급 기능, 유연한 디자인, 사용자 친화적인 인터페이스를 갖춘 KOKUSAI CX-5000 은 반도체 제조업체가 업계에서 고품질 디바이스 제작 및 드라이브 혁신을 실현하고자 하는 유용한 툴입니다 (영문).
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