판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762987

KOKUSAI CX-5000
ID: 293762987
웨이퍼 크기: 12"
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: SI3N4 Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase.
KOKUSAI CX-5000은 반도체 산업의 고온, 고압 프로세스 애플리케이션을 위해 설계된 최첨단 확산 로의 장비입니다. 첨단 시스템 - 최첨단 기술 및 혁신적인 설계로, 정확성과 일관성을 갖춘 고품질 웨이퍼를 생산할 수 있는 다목적적이고 안정적인 도구입니다. 주요 기능 및 이점: 1. 고급 난방 장치 (Advanced Heating Unit): CX-5000에는 웨이퍼 표면에서 온도 균일성을 정확하게 제어할 수 있는 고성능 난방기가 장착되어 있습니다. 이를 통해 웨이퍼의 효율적이고 일관된 처리를 보장하여 고품질 디바이스 성능을 얻을 수 있습니다. 2. 정밀 가스 흐름 제어 (Precise Gas Flow Control): 이 도구는 가스 흐름 속도와 혼합물을 정확하게 조작 할 수있는 정교한 가스 흐름 제어 메커니즘을 특징으로합니다. 이를 통해 웨이퍼의 도핑 농도 (doping concentration) 와 분포 (distribution) 를 정확하게 제어하여 최적의 장치 성능을 얻을 수 있습니다. 3. 고압 (High-Pressure) 기능: KOKUSAI CX-5000은 높은 압력으로 작동할 수 있으므로 높은 압력 조건이 필요한 광범위한 확산 프로세스에 적합합니다. 이 기능을 사용하면 프로세스 매개변수를 사용자정의하여 특정 애플리케이션 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 4. 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface): 이 에셋에는 프로세스 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있는 직관적인 사용자 인터페이스가 제공됩니다. 또한 생산성을 높이고 운영자 오류를 최소화하여 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 5. 유연한 웨이퍼 처리 (Flexible Wafer Handling): CX-5000은 작은 직경에서 큰 직경까지 다양한 웨이퍼 크기를 수용할 수 있도록 설계되었습니다. 이러한 유연성을 통해 단일 실행에서 여러 웨이퍼 (wafer) 유형을 처리하여 처리량 및 효율성을 극대화할 수 있습니다. 6. 향상된 안전 기능 (Enhanced Safety Features): 이 모델에는 고급 안전 기능이 장착되어 있어 운영자의 안전을 보장하고 장비의 위험 요소를 보호할 수 있습니다. 이러한 기능에는 가스 누출 감지 시스템, 긴급 종료 메커니즘 및 무단 액세스를 방지하기위한 연동 시스템이 포함됩니다. 7. 원격 모니터링 및 제어 (Remote Monitoring and Control): KOKUSAI CX-5000은 원격 모니터링 장비에 완벽하게 통합되어 중앙 집중식 위치에서 프로세스를 실시간으로 모니터링 및 제어할 수 있습니다. 원격 문제 해결 및 유지 관리 기능을 통해 다운타임을 줄이고 전반적인 시스템 효율성을 향상시킬 수 있습니다 (영문). 8. 에너지 효율적인 설계: CX-5000은 에너지 효율을 고려하여, 고급 단열재와 난방 요소를 활용하여 에너지 소비를 최소화합니다. 이는 운영 비용뿐만 아니라, 더 지속 가능한 제조 공정에 기여합니다. KOKUSAI CX-5000 은 코어 (Core) 확산 용광로 장치 외에도 다양한 액세서리와 업그레이드를 장착하여 성능과 유연성을 높일 수 있습니다. 이러한 액세서리에는 웨이퍼 로드 및 언로드 시스템, 프로세스 가스 전달 시스템, 온도 프로파일링 도구, 데이터 로깅 소프트웨어 등이 포함됩니다. 전반적으로, CX-5000 확산 용광로는 반도체 산업의 고온, 고압 확산 프로세스를위한 최첨단 솔루션입니다. 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 맞춤형 옵션을 갖춘 KOKUSAI CX-5000 은 다양한 반도체 애플리케이션을 위한 정확한 도핑 프로파일을 통해 고품질의 웨이퍼를 생산할 수 있는 안정적이고 효율적인 툴입니다.
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