판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762977

KOKUSAI CX-5000
ID: 293762977
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Diffusion furnace, 12" Part number: DJ-1206VN -DF Process: HTO Main controller: KDSC Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase 2008 vintage.
KOKUSAI CX-5000은 다양한 기판의 정밀한 열 제어에 사용되는 확산 로와 액세서리 장비입니다. CX-5000 은 고정밀 히터, 가스 분사 소스 (gas injection source), 냉각 팬 (cooling fan) 을 구동하여 기판 내의 요소 확산을 장려하기 위해 최적의 열 환경을 일관되게 만듭니다. KOKUSAI CX-5000은 리드 블록 및 세라믹 섬유 가열 핫 존을 사용하여 구성됩니다. CX-5000 에서 업그레이드 된 이중 엔드 난방 시스템은 섭씨 ± 5 도의 온도 균일성을 유지하면서 최대 섭씨 1300 도의 온도를 달성 할 수 있습니다. KOKUSAI CX-5000은 최대 400mm 크기의 대형 기판과 25mm 크기의 소형 기판을 처리하도록 설계되었습니다. CX-5000 은 자동 메커니즘 냉각 장치를 제공하여 최대 제품 수율을 위해 냉각 속도를 정확하게 제어합니다. 가스 주입 확산 응용 프로그램의 경우 KOKUSAI CX-5000은 고급 TotalFlow II 자동 가스 주입 기계를 갖추고 있습니다. TotalFlow II (TotalFlow II) 를 사용하면 기계의 전면 패널에서 가스 농도를 조정할 수 있습니다. 또한 TotalFlow II 도구를 사용하면 0.001Slm에서 0.0005Slm까지의 흐름 속도를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한 CX-5000 은 매우 지능적인 멀티 채널 PID 온도 조절 자산을 제공하여 핫 존 (hot zone) 전반에 걸쳐 최적의 열 분배를 보장합니다. KOKUSAI CX-5000은 'Gas Leak Sensor', 'Safety Alarm' 및 'Over Temperature Alarm' 을 포함한 다양한 센서 및 기능 모델 덕분에 안전을 염두에두고 설계되었습니다. 또한, 사용자는 기능이 풍부한 프로그래밍 가능한 사용자 정보 보안 장비 (user information security equipment) 덕분에 CX-5000 의 안전하고 안전한 사용을 보장할 수 있습니다. 전반적으로 KOKUSAI CX-5000은 까다로운 샘플과 최첨단 R&D 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 탁월한 정확성과 성능을 자랑하는 CX-5000 은 생산에 있어 탁월한 신뢰성을 제공하며, 모든 확산 (diffusion) 애플리케이션에 적합합니다.
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