판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762975

KOKUSAI CX-5000 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 고성능 반도체 제작에서 광범위한 확산 프로세스를 정확하게 제어하고 자동화할 수 있도록 설계된 고급 정밀 기기입니다. 완전 자동 파우더 채우기와 통합 CVD 챔버가 특징입니다. 이 단일 챔버 퍼니스는 보다 정확한 온도 조절 및 동종 처리를 제공하기 위해 제작되었습니다. CX-5000 은 가루의 안전한 제거를 위해 조절 가능한 고온 존 (zone) 과 고급 강제 공기 냉각 설정을 갖추고 있습니다. 처리용으로 최적화 된 온도 범위는 약 815 ° C-1150 ° C이며, 정확한 기판 온도를 제공하도록 조정 할 수 있습니다. KOKUSAI CX-5000 은 특수 처리 요구 사항에 맞게 정확한 설정을 수용할 수 있도록 다양한 컨트롤과 설정으로 설계되었습니다. 외부 컴퓨터에서 명령을 수신하는 CX-5000 은 다른 사전 프로그래밍 가능한 프로세스 옵션과 함께 MS 모드 (Multi-Step 프로그램) 를 자동화할 수 있습니다. KOKUSAI CX-5000에는 정확한 쿼츠 열 센서와 PID 제어를 통한 자동 자체 보정 기능이 제공되므로 안정적이고 정밀한 온도 제어가 가능합니다. 용광로에는 다중 영역 기능이 포함되어 있으며, 대형 기판에서도 정확한 균일성을 제공합니다. 또한 CX-5000 은 안정적이고 안전한 프로세스 및 결과를 보장하는 Activated Gas Pressure Control 시스템을 갖추고 있습니다. 다양한 용광로의 온도 제어는 이더넷 (Ethernet) 연결을 통해 원격으로 확인할 수 있으며, 소프트웨어 지원 및 통합 서비스를 제공합니다. KOKUSAI CX-5000에는 고성능 여과 시스템과 고급 경보 및 연동 기능도 제공됩니다. CX-5000 확산 용광로 (Diffusion Furnace) 는 정확하고 균일한 확산 처리를 제공하는 고급적이고 안정적인 시스템입니다. 고온 및 자동화 기능은 다양한 고성능 반도체 (HPC) 제작 및 처리 어플리케이션에 적합합니다.