판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762973
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ID: 293762973
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Diffusion furnace, 12"
Part number: DJ-1206VN -DF
Process: TiN
Main controller: KDSC
Power supply: 120 V, 1 Phase / 480 V, 3 Phase
2010 vintage.
KOKUSAI CX-5000은 고효율 처리를 달성 할 수있는 고성능 확산 로입니다. 용광로 에는 여러 가지 "액세서리 '가 들어 있어서 기질 화학 물질 을 정밀 하고 복잡 하게 조작 할 수 있다. CX-5000 은 다양한 기능을 제공하여 최고의 효율성과 활용도를 보장합니다. 여기에는 1400 ° C의 고온 능력, 17.5KW의 열 용량, 빠른 어닐링을위한 빠른 난방 특성 등이 포함됩니다. 넓은 온도 범위 (wide temperature range) 는 정밀한 온도 조절을 가능하게 하며 높은 열 용량은 더 높은 공정 출력을 제공합니다. 내장형 에너지 절약 기능에는 대기 (standby) 모드가 포함되어 있어 기계가 유휴 상태일 때 에너지 사용을 최소화할 수 있습니다. 프로세스 설정의 미세 튜닝을 위한 고급 램프 제어 (advanced ramp control) 및 디지털 처리 매개변수 (digital processing parameters) 와 같은 다른 정전식 옵션과 다중 협업공간 디스플레이는 가장 세련된 생산 프로세스를 보장합니다. 퍼니스는 여러 구획이있는 이중 챔버 구조를 특징으로합니다. 우수한 내식성, 강성 및 내구성을 갖춘 304 개의 스테인리스 스틸로 제작되었습니다. 용광로 의 아랫방 은 균일 한 "플라즈마 '를 집중 하는 반면, 윗부분 의 고온" 챔버' 는 확산 과정 이 일어나는 곳 이다. 용광로에는 최적의 확산 처리를 위해 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 전문 보호 대기 발전기, 열전대 판독기, 제거 시스템, 샘플 홀더 및 고온 자동 급지대가 포함됩니다. 안전성 측면에서 KOKUSAI CX-5000은 환경 보호 및 노동 안전에 대한 최신 안전 규정을 준수합니다. 또한 여러 보호 기능과 LCD EMERGENCY STOP 푸시 (PUSH STOP) 버튼을 통해 긴급 상황에서 신속하게 제어를 종료할 수 있습니다. 통합 보호 게이트도 위험을 크게 줄여줍니다. CX-5000 은 견고한 구성, 다양한 온도 범위, 에너지 절감 기능, 고급 액세서리 옵션 등으로 인해 확산 처리에 이상적인 용광로입니다. 정확하고 포괄적인 툴을 통해 높은 수준의 제어 (control) 를 통해 최고 수준의 확산 처리 (diffusion processing) 를 보장합니다.
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