판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762578

KOKUSAI CX-5000은 고성능 박막 증착 및 어닐링 기능을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 패키지입니다. 온도 조절 및 정확도가 우수하고, 사용이 간편한 작동 제어 기능을 갖춘 다용도 (versatile) 장비입니다. 이 장치는 또한 광범위한 필름 증착 및 공정 응용을위한 (pre-program) 온도를 제공합니다. CX-5000 은 고성능 박막 증착실 (thin film deposition chamber) 과 고온의 어닐링 퀸치 챔버 (annealing quench chamber) 로 구성됩니다. 필름 증착 챔버 (film deposition chamber) 는 다양한 기질에 산화물, 질화물 및 금속 필름을 침전하도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 10-5torr의 초고 진공 수준과 에너지 효율적인 전기 열 석영 히터 및 저항 히터 시스템이 있습니다. 또한 증착 과정에서 반응성 가스 도입을위한 가스 피드 스루 (gas feed-through) 장치가 내장되어 있습니다. 어닐링 챔버는 일반적으로 최대 1350-의 고온 프로세스를 위해 설계되었습니다. 우수한 온도 균일성 (temperity uniformity) 및 반복성 (repeatability) 과 함께 더 빠른 온도 상승 및 하락을 가능하게하는 2 단 난방 프로세스를 제공합니다. 퀸치 머신 (quench machine) 은 자동 덮개 오프너/클로저 및 사전 프로그래밍 된 냉각 시간의 배열도 갖추고 있습니다. KOKUSAI CX-5000은 또한 로드 락, 프로세스 컨트롤러, 가스 피드 시스템 등 전체 액세서리를 갖추고 있습니다. 로드 락은 챔버 간의 빠른 기판 변경을 허용하도록 설계되었습니다. 이로써 샘플링 시간이 단축되어 운영자가 신속하게 샘플을 전환하고 프로세스 시간을 단축할 수 있습니다. 프로세스 컨트롤러는 프로세스의 정확한 온도 및 시간 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 이를 통해 운영자는 온도 상승률, 증착 시간, 어닐링 시간 (annealing time) 과 같은 프로세스 변수를 쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 CX-5000 은 운영자의 안전을 보장하는 다양한 안전 기능을 제공합니다. 예를 들어, 안전 회로에는 과열 컷오프 스위치와 과전류 및 과압 경보가 포함됩니다. 더욱이, 이 장치에는 예상치 못한 런 어웨이 프로세스를 방지하기 위해 여러 안전 인터 록이 장착되어 있습니다. 전반적으로, KOKUSAI CX-5000은 신뢰할 수 있고, 강력한 확산 로와 어닐링 챔버이며, 광범위한 필름 증착 및 어닐링 프로세스를 수행 할 수있는 유연성입니다.