판매용 중고 KOKUSAI CX-5000 #293762573

KOKUSAI CX-5000은 확산을 포함한 고급 열 처리를 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 용광로 장비는 실리콘 증착 및 실리콘화 에피 택시와 같은 응용 분야에 이상적입니다. CX-5000 은 전이 금속의 핫 월 (hot-wall) 열 처리 기능을 갖추고 있으며, 온도와 시간 제어를 완벽하게 통해 처리량을 높일 수 있습니다. KOKUSAI CX-5000의 심장은 수직 석영 핫월 퍼니스입니다. 이 퍼니스는 전자기 제어 IR 복사 히터를 특징으로하여 정확한 온도 및 공정 제어를 가능하게합니다. 이 플랫폼은 최대 프로세스 처리량을 위해 설계되었으며, 빠른 열 주기 시간 (thermal cycle time) 과 온도의 균일성은 웨이퍼 전체에서 최대 1 ~ 2 ° C에 이릅니다. CX-5000 은 유연성을 고려하여 설계되었으며, 모든 유형의 확산 프로세스 (diffusion process) 또는 레이어 전송 (layer transfer) 을 수용할 수 있도록 손쉽게 맞춤 구성할 수 있습니다. 5 가지 유형의 실리콘 기판을 확산에 사용할 수 있으며, 시스템은 가스 도핑 및 CVD를위한 통합 가스 인젝터 장치 (integrated gas injector unit) 와 함께 제공됩니다. 이 키트에는 효율적이고 사용자에게 친숙한 소프트웨어 제품군이 포함되어 있습니다. 이를 통해 연구원들은 기계를 원격으로 프로그래밍하고 모니터링할 수 있으며, 수동 제어 (manual control) 와 관찰 (observation) 이 필요하지 않습니다. KOKUSAI CX-5000은 JGRC의 EXPERT 도구 (Experimental Pattern Routing Asset) 와 완벽하게 호환되므로 사용자가 자동 실행을 위해 용광로에 실험 디자인을 보낼 수 있습니다. CX-5000 은 자동 자체 진단, EMI 및 RoHS 인증 구성요소, 내장 열 차단 등 고급 열 처리를 위한 다양한 안전 및 편의성 기능을 제공합니다. 전반적으로 KOKUSAI CX-5000은 최첨단 확산 로와 액세서리로, 고급 열 처리를 위한 최적의 정확성과 신뢰성을 위해 설계되었습니다. 또한 프로세스 처리량 및 유연성을 극대화하고자 하는 사용자들은 물론, 정확한 온도, 시간 제어 (time control) 를 필요로 하는 사용자에게 적합합니다.