판매용 중고 KOKUSAI CX-3000 #9291187

KOKUSAI CX-3000
ID: 9291187
웨이퍼 크기: 12"
Furnace, 12" P/N:DD-1223VN Process: HALPOx.
코쿠사이 CX-3000 (KOKUSAI CX-3000) 은 제어된 환경에서 반도체 재료의 열 처리를 위해 설계된 최첨단 확산로 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있어 운영 효율성과 생산성을 극대화하면서 정확하고 안정적인 처리 결과를 얻을 수 있습니다. KOKUSAI CX3000 은 광범위한 애플리케이션을 수용할 수 있는 다용도 플랫폼으로, 탁월한 성능과 유연성을 원하는 반도체 (semiconductor) 제조 설비를 위한 최적의 솔루션입니다. 주요 특징: 1. 고온 기능: CX-3000은 다양한 열 처리 애플리케이션에 필요한 고온에 도달할 수 있습니다. 이 장치의 고급 난방 요소 (Advanced Heating Elements) 및 온도 제어 메커니즘은 프로세스 챔버 전체에 균일 한 열 분배를 보장하므로 일관되고 신뢰할 수있는 처리 결과가 발생합니다. 2. 정밀 가스 흐름 제어 (Precise Gas Flow Control): CX3000에는 처리 주기 동안 가스 흐름 속도와 조성을 정확하게 제어할 수 있는 정교한 가스 전달 머신이 장착되어 있습니다. 이 기능은 재현 가능한 결과를 달성하고 엄격한 프로세스 공차 (process tolerance) 를 유지하는 데 필수적이며, 특히 도펀트 농도 (dopant concentration) 와 확산 프로파일 (Diffusion Profile) 을 정확하게 제어해야 하는 응용 프로그램에서 필요합니다. 3. 다중 영역 난방 (Multi-Zone Heating): 확산 로에는 공정 챔버의 여러 섹션에 대한 독립적 인 온도 제어가 가능한 다중 영역 난방 요소가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 특정 프로세스 요구사항에 맞춘 복잡한 열 프로파일 (thermal profile) 을 생성할 수 있으며, 열 처리 단계의 유연성과 최적화가 향상됩니다. 4. 자동화된 프로세스 제어 (Automated Process Control): KOKUSAI CX-3000에는 고급 프로세스 제어 소프트웨어가 장착되어 있어 전체 처리 순서를 쉽게 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 사용자에게 친숙한 인터페이스를 통해 운영자는 프로세스 레시피 (recipe) 를 설정하고, 실시간 프로세스 데이터를 모니터링하며, 즉석에서 조정할 수 있으므로, 효율적이고 오류 없는 작업을 수행할 수 있습니다. 5. 가스 정화 도구 (Gas Purification Tool): 이 자산에는 공정 가스에서 불순물과 오염 물질을 제거하는 가스 정화 모델이 장착되어 공정 챔버 내에서 고순도 환경을 보장합니다. 이 기능은 프로세스 변화를 방지하고 처리 중인 반도체 (semiconductor) 재료의 무결성을 유지하는 데 중요합니다. 6. 통합 기능: KOKUSAI CX3000 은 다른 프로세스 장비 및 자동화 시스템과의 완벽한 통합을 위해 설계된 제품으로, 사용자가 높은 처리량을 생산할 수 있도록 완벽하게 통합된 Manufacturing line 을 만들 수 있습니다. 이 장비는 업계 표준 통신 프로토콜과의 호환성을 통해 다른 장비 및 중앙 집중식 프로세스 제어 (process control) 시스템과 쉽게 연결할 수 있습니다. 7. 안전성 및 신뢰성: CX-3000은 안전성과 신뢰성에 중점을 두고 강력한 구성, 지능형 안전 연결 (Intelligent Safety Interlock), 원활하고 문제 없는 작동을 보장하는 포괄적인 진단 툴을 갖추고 있습니다. 이 시스템은 '안전 (Safety)' 과 '성능 (Performance)' 에 대한 업계 최고의 표준을 충족하고 사용자가 처리 작업을 안정적으로 수행할 수 있도록 설계되었습니다. 결론적으로, CX3000 확산 경로 장치 (diffusion furnace unit) 는 정교하고 다양한 플랫폼으로, 반도체 재료의 정확하고 효율적인 열 처리를 위해 광범위한 고급 기능과 액세서리를 제공합니다. 고온 기능, 정밀한 가스 흐름 제어, 다중 영역 난방, 자동화된 프로세스 제어, 가스 정화 기계, 통합 기능, 안전성 및 신뢰성에 중점을 둔 KOKUSAI CX-3000은 탁월한 프로세스 성능과 생산성을 달성하기 위해 필요한 반도체 제조 시설에 이상적인 솔루션입니다.
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