판매용 중고 KOKUSAI CX-3000 #293762981

KOKUSAI CX-3000 (KOKUSAI CX-3000) 은 고급 프로세스 기술에 대한 반도체 산업의 증가하는 요구를 충족시키기 위해 설계된 고성능 확산 로입니다. 이 최첨단 장비는 다양한 기능을 제공하여 리서치 (Research) 및 프로덕션 (Production) 환경 모두에 적합합니다. KOKUSAI CX3000 의 핵심은 고급 프로세스 제어 시스템 (process control system) 으로, 챔버 전체에서 정확한 온도 조절 및 균일성을 보장합니다. 이것은 확산 프로세스 (확산 프로세스) 에서 일관되고 반복 가능한 결과를 달성하는 데 중요합니다. 여기서 온도의 약간의 변화가 장치 성능에 영향을 줄 수 있습니다. CX-3000 의 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 확산 프로세스에 필요한 가혹한 프로세스 조건을 견딜 수있는 고품질 재료로 구성됩니다. 약실은 섭씨 1200 도의 온도에 도달 할 수 있으며, 인, 붕소, 비소 도펀트 확산을 포함한 광범위한 확산 과정에 적합합니다. CX3000 의 주요 특징 중 하나는 여러 프로세스 가스 (process gase) 를 지원하는 기능으로, 높은 수준의 프로세스 유연성을 제공합니다. 이 장치에는 다른 프로세스 가스를위한 별도의 가스 라인 (gas line) 과 정확한 가스 전달 속도를 보장하는 정밀 흐름 컨트롤러 (flow controller) 가 장착되어 있습니다. 즉, 광범위한 재구성 작업 없이 다양한 프로세스 레시피를 손쉽게 전환할 수 있습니다. KOKUSAI CX-3000 은 또한 중요한 프로세스 매개변수를 모니터링하는 포괄적인 안전 장치 (Compensive Safety Machine) 를 갖추고 있으며, 장애 또는 비정상적인 상황에서 이 도구를 자동으로 종료할 수 있습니다. 이를 통해 자산과 운영자를 모두 안전 사고 (Safety Hazard) 로부터 보호하여 높은 수준의 안정성과 가동 시간을 확보할 수 있습니다. KOKUSAI CX3000 은 고급 프로세스 제어 (process control) 기능과 더불어 다양한 액세서리 (accessory) 를 제공하여 더욱 향상된 기능을 제공합니다. 여기에는 웨이퍼 전송을위한 로드 잠금 모델, 빠른 프로세스 처리 (Quick Process Turnaround) 를 위한 빠른 냉각 장비 및 유지 보수가 용이한 쿼츠 튜브 클리닝 시스템 (Quartz Tube Cleaning System) 이 포함됩니다. CX-3000 은 직관적인 터치 스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 를 통해 사용자가 편리하게 프로세스 매개변수를 모니터링하고 조정할 수 있도록 사용자 편리하고 작동이 용이하도록 설계되었습니다. 또한 원격 모니터링 (remote monitoring) 및 제어 (control) 기능을 통해 사용자는 원격 위치에서 시스템을 액세스하고 제어할 수 있습니다. 전체적으로 CX3000 은 다목적적이고 신뢰할 수 있는 확산 로로, 오늘날의 반도체 업계에 필요한 고급 프로세스 제어 및 유연성을 제공합니다. 강력한 구성, 고급 안전 (Advanced Safety) 기능, 다양한 액세서리를 통해 연구/생산 환경 모두에 유용한 툴이 될 수 있습니다.