판매용 중고 KOKUSAI CX-3000 #293762968
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ID: 293762968
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Diffusion furnace, 12"
P/N:DD-1223VN
Process: BIO
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2004 vintage.
KOKUSAI CX-3000은 반도체 기판의 정확하고 효율적인 처리를 위해 설계된 최첨단 확산 용광로 장비입니다. 이 고성능 장비는 반도체 제작 시설에서 중요한 구성 요소로, 도펀트를 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 로 확산시켜 집적 회로 (integrated circuit) 및 기타 반도체 장치에 필요한 전기 특성을 만들 수 있습니다. KOKUSAI CX3000 은 여러 웨이퍼를 동시에 균일하게 가열하고 확산할 수 있는 수직 (vertical) 로의 설계를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 고급 온도 조절 장치 (Advanced Temperature Control Mechanism) 를 갖추고 있어 최적의 성능 및 수율을 위해 도핑 프로세스를 정확하게 제어할 수 있습니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 오염을 최소화하고 깨끗한 처리 환경을 유지하기 위해 고순도 재료로 구성됩니다. CX-3000 의 주요 기능 중 하나는 인 (phosphorus), 붕소 (boron), 비소 (arsenic) 및 반도체 제조에 일반적으로 사용되는 기타 도펀트 (dopant) 등 광범위한 확산 프로세스를 수용하는 기능입니다. 이 장치는 프로세스 제어를 철저히 수행하고 엄격한 디바이스 성능 요구 사항을 충족하는 데 중요한, 도핑 (doping) 프로파일에서 뛰어난 반복성과 일관성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 CX3000 은 다양한 반도체 처리 애플리케이션의 기능과 유연성을 향상시키기 위한 다양한 액세서리 (accessory) 와 옵션을 갖추고 있습니다. 여기에는 용광로 챔버 (furnace chamber) 에 도펀트 가스 (dopant gase) 를 정확하게 도입하는 포괄적인 가스 전달기 (gas delivery machine) 와 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 조정하는 정교한 제어 도구 (control tool) 가 포함됩니다. KOKUSAI CX-3000 은 확산 기능 외에도, 종합적인 반도체 (semiconductor) 제조 라인에 통합되어 전체 wafer 처리 작업 흐름을 원활하게 자동화하고 제어할 수 있습니다. 업계 표준 자동화 인터페이스 (Automation Interface) 및 소프트웨어 프로토콜 (Protocol) 과의 호환성을 통해 기존 Fab 환경에 쉽게 통합할 수 있으므로 운영 확장 및 프로세스 최적화를 효율적으로 수행할 수 있습니다. KOKUSAI CX3000 은 안정성, 내구성, 유지 보수 편의성에 중점을 두어 반도체 구성 작업의 가동 시간과 생산성을 극대화합니다. 이 모델은 대용량 (high-volume) 제조 환경의 요구를 견뎌낼 수 있는 견고한 구성 및 품질 구성 요소로, 장기적인 성능과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 전반적으로 CX-3000 은 반도체 제조 분야의 확산 용도로 (diffusion furnace) 처리를 위한 최첨단 솔루션으로, 업계의 발전하는 요구를 충족하는 첨단 기능, 정확한 제어 기능, 유연성을 제공합니다. 최첨단 설계, 포괄적인 기능, 통합 기능을 갖춘 CX3000 은 현재 경쟁업체 시장에서 고품질의, 고성능 반도체 (Semiconductor) 디바이스를 구현하는 데 유용한 툴입니다.
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