판매용 중고 KOKUSAI CX-3000 #293762955
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ID: 293762955
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Diffusion furnace, 12"
P/N: DJ-1223VN
Process: ALD SIN
Main controller: CX3010 / CX3010B
Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase
2006 vintage.
KOKUSAI CX3000 은 반도체 제조 업계에서 반도체 웨이퍼 (wafer) 의 정확하고 균일 한 열 처리를 위해 특별히 설계된 고도의 확산 용광로 장비입니다. 이 시스템은 다양한 대용량 운영 환경에서 최적의 성능과 안정성을 보장하는 다양한 혁신적인 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있습니다. KOKUSAI CX-3000 (KOKUSAI CX-3000) 의 핵심에는 최첨단 용광로 챔버 (furnace chamber) 가 있습니다. 이 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 열적 안정성과 화학 반응에 대한 내성을 제공하여 가공 된 웨이퍼의 무결성을 보장하는 고순도 석영 물질로 구성됩니다. 로퍼 챔버 (furnace chamber) 로의 웨이퍼 캐리어 로드 및 언로드를 용이하게 하기 위해 CX3000 에는 정교한 자동 웨이퍼 처리 장치가 장착되어 있습니다. 이 기계는 고급 로봇 공학과 정밀 메커니즘을 통합하여 부드럽고 효율적인 웨이퍼 전송 (wafer transfer) 작업을 가능하게 하며, 로드 및 언로드 과정에서 웨이퍼 파손 또는 오염 위험을 최소화합니다. CX-3000 은 탁월한 열 성능, 웨이퍼 (wafer) 처리 기능 외에도 고급 가스 전달 툴 (gas delivery tool) 을 통해 용광로 챔버 내의 공정 대기를 정확하게 제어할 수 있습니다. 이 가스 전달 자산에는 대량 유동 컨트롤러, 압력 조절기, 가스 혼합 (gas mixing) 기능이 포함되어 있으므로 특정 열 처리 애플리케이션에 필요한 다양한 공정 가스를 정확하게 공급할 수 있습니다. KOKUSAI CX3000 은 또한 고도로 민감한 온도 조절 모델 (Temperature Control Model) 을 장착하여 용광로 온도를 실시간으로 모니터링하고 조정하여 웨이퍼 표면에 균일한 가열 및 냉각 프로파일을 제공합니다. 이 온도 조절 장비는 열전대 및 피드백 루프 (feedback loop) 를 사용하여 용광로 챔버 (furnace chamber) 내의 열 기울기에 대한 엄격한 제어를 유지하여 웨이퍼 속성의 변화를 최소화하고 일관된 프로세스 결과를 보장합니다. 또한, KOKUSAI CX-3000은 사용자 친화적 인 인터페이스 및 소프트웨어 제어 시스템을 갖추고 있어 운영자가 열 처리 레시피를 쉽게 프로그래밍 및 모니터링할 수 있습니다. 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 는 광범위한 프로세스 매개변수, 온도 프로파일, 가스 흐름 설정에 대한 액세스를 제공하며, 특정 반도체 장치 요구사항에 대한 열 처리 조건을 사용자 정의하고 최적화할 수 있습니다. 안전성 및 신뢰성 향상을 위해 CX3000 은 여러 안전 연동 (Safety Interlock), 경보 (Alarm) 및 비상 종료 메커니즘을 갖추고 있어, 장치 오작동 또는 이상 발생 시 작동 시 장비가 손상되지 않도록 합니다. 이러한 안전 기능은 업계 표준과 규정을 준수하므로, CX-3000 은 고정밀 확산 프로세스를 위한 안정적이고 안전한 플랫폼이 됩니다. 결국, KOKUSAI CX3000 확산 퍼니스 머신 및 액세서리는 대용량 생산 환경에서 탁월한 Wafer 처리 결과를 얻기 위해 반도체 제조업체에 탁월한 성능, 정확성, 신뢰성을 제공합니다. 첨단 기능, 혁신적인 디자인, 사용자 친화적인 인터페이스를 갖춘 KOKUSAI CX-3000 은 최첨단 솔루션으로서, 열 처리 기술 분야에서 새로운 표준을 제시합니다.
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