판매용 중고 KOKUSAI CX-3000 #293762870

KOKUSAI CX3000 은 반도체 제조 공정을 위해 특별히 설계된 최첨단 확산로 장비입니다. 이 고급 시스템 (Advanced System) 은 다양한 기능과 기능을 제공하여 대용량 운영 환경에 이상적이며, 와퍼를 정확하고 일관되게 처리해야 합니다. 고쿠사이 (KOKUSAI) CX-3000 은 효율성과 신뢰성에 최적화되어 있어, 제조업체가 최소한의 다운타임과 최대한의 생산량으로 생산 목표를 달성할 수 있습니다. CX3000 의 주요 특징 중 하나는 고온 기능으로, 단위는 최대 1200 ° C 의 온도에 도달할 수 있습니다. 이를 통해 기계는 뛰어난 정밀도와 제어를 통해 산화 (oxidation), 확산 (diffusion), 어닐링 (annealing) 과 같은 다양한 고온 프로세스를 수행 할 수 있습니다. CX-3000 은 여러 가열 영역 (heating zone) 과 고급 열 관리 (thermal management) 기술을 탑재하여 웨이퍼 표면에 균일한 가열을 보장하여 프로세스 결과와 높은 디바이스 성능을 제공합니다. 고온 기능 외에도, KOKUSAI CX3000 은 다양한 제조 요구 사항을 충족하는 광범위한 프로세스 가스 및 구성을 제공합니다. 이 도구는 산소, 질소, 도펀트 가스를 포함하여 반도체 처리에 일반적으로 사용되는 다양한 가스와 호환됩니다. KOKUSAI CX-3000은 또한 정밀한 흐름 제어 기능을 갖춘 강력한 가스 전달 자산 (gas delivery asset) 을 제공하여 프로세스 사이클 전반에 걸쳐 정확하고 반복 가능한 가스 흐름 속도를 보장합니다. CX3000 의 또 다른 특징은 고급 자동화 및 제어 모델로, Fab-wide Manufacturing Execution System (MES) 및 Process Control System (PCS) 과 완벽하게 통합됩니다. 이 장비에는 사용자에게 친숙한 인터페이스와 직관적인 소프트웨어가 장착되어 있어 운영자가 프로세스 레시피 (레시피) 를 손쉽게 프로그래밍하고 모니터링하고, 실시간으로 조정하고, 시스템 성능 매개 변수를 추적할 수 있습니다. 또한 CX-3000 은 포괄적인 데이터 로깅 및 보고 기능을 제공하여, 제조업체가 프로세스 데이터를 분석하고 운영 처리량을 최적화할 수 있게 해 줍니다. KOKUSAI CX3000 은 구성 기능이 뛰어난 제품으로서, 특정 제조 요구 사항과 프로세스 요구를 충족할 수 있도록 맞춤형으로 구성할 수 있습니다. 이 머신은 배치 (batch) 및 단일 웨이퍼 (single-wafer) 처리 옵션을 포함하여 다양한 웨이퍼 크기와 로드 구성을 제공합니다. 이 도구에는 다양한 액세서리 및 주변 장치 (예: 웨이퍼 처리 로봇, 로드 잠금 장치, 가스 캐비닛) 가 장착되어 있어 기능 및 다양성을 더욱 향상시킬 수 있습니다. 요약하면, KOKUSAI CX-3000은 다재다능하고 신뢰할 수있는 확산 용광로 자산으로, 대용량 반도체 제조 환경에 적합합니다. 고온 기능, 정밀한 가스 제어 기능, 고급 자동화 기능, 유연한 구성 옵션 등을 갖춘 CX3000 은 제조업체에게 최적의 프로세스 성능, 고도의 디바이스 생산량, 탁월한 제품 품질을 제공하는 강력한 솔루션을 제공합니다.