판매용 중고 KOKUSAI CX-3000 #293762569

KOKUSAI CX-3000
ID: 293762569
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
Diffusion furnace, 12" P/N: DJ-1223VN Process: SI3N4 Main controller: CX3010 / CX3010B Power supply: 208 V, 1 Phase / 440 V, 3 Phase 2006 vintage.
KOKUSAI CX3000 은 반도체 제조에서 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 의 정확하고 안정적인 열 처리를 위해 설계된 최첨단 확산로 장비입니다. 다재다능하고 자동화된 이 시스템은 반도체 업계의 엄격한 요구 사항을 충족할 수 있는 고급 (advanced) 기능과 기능을 제공합니다. KOKUSAI CX-3000에는 확산 공정을 위해 제어되고 균일 한 열 환경을 제공하는 수평 튜브 로가 장착되어 있습니다. 이 장치는 산화, 확산, 어닐링, 증착 등 다양한 프로세스를 지원할 수 있으며, 고급 반도체 제조를위한 다목적 도구입니다. CX3000 의 주요 특징 중 하나는 고급 온도 조절 시스템 (Temperature Control Machine) 으로, 프로세스 전반에 걸쳐 정확하고 안정적인 열 프로파일을 보장합니다. 이 도구에는 여러 가열 영역 (hating zone) 과 열 센서 (thermal sensor) 가 장착되어 있어 높은 정확도로 온도를 모니터링하고 제어합니다. 이를 통해 최적의 프로세스 제어 및 반복 기능을 통해 웨이퍼 (Wafer) 와 배치 (Batch) 간에 일관된 결과를 얻을 수 있습니다. CX-3000 은 온도 조절 외에도 다양한 가스 흐름 (gas flow) 및 믹싱 (mixing) 기능을 제공하여 정밀한 프로세스 가스 전달을 지원합니다. 이 자산에는 가스 유속 (gas flow rate) 의 정확한 제어를 위해 질량 흐름 컨트롤러 (mass flow controller) 가 장착되어 있으며 특정 공정 요구 사항에 맞게 맞춤형 가스 대기 (gas mixing atmospheres) 를 만들 수 있습니다. 이러한 제어 수준 (level of control) 을 통해 사용자는 웨이퍼 서피스 전체에서 정확한 프로세스 조건과 균일성을 달성할 수 있습니다. 또한 KOKUSAI CX3000 은 직관적인 소프트웨어 제어 기능을 갖춘 사용자 친화적 인터페이스로, 이 프로세스를 손쉽게 운영 및 모니터링할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 프로세스 레시피 (recipe) 와 매개변수 (parameter) 로 프로그래밍될 수 있으며, 따라서 사용자는 최소한의 수동 개입으로 다양한 프로세스를 쉽게 설정하고 실행할 수 있습니다. 또한, 이 장비는 고급 데이터 로깅 (data logging) 및 분석 기능을 통해 실시간 모니터링 및 프로세스 최적화를 수행합니다. 안전성, 신뢰성 측면에서 KOKUSAI CX-3000은 운영자 보호 (protection) 및 장비 무결성을 보장하기 위해 강력한 안전 기능으로 설계되었습니다. 이 시스템에는 안전 인터 록 (Safety Interlock), 가스 탐지 센서 (Gas Detection Sensor) 및 비상 종료 기능이 장착되어 있어 사고를 예방하고 안전한 운영 환경을 보장합니다. 또한, 이 장치는 장기적인 안정성과 성능을 보장하기 위해 고품질 구성 요소와 재료를 기반으로 제작되었습니다. 생산성 및 효율성 향상을 위해 CX3000 은 모듈식 (modular) 구성으로 설계되어 다른 프로세스 장비 및 자동화 시스템과 손쉽게 통합할 수 있습니다. 이 기계는 다양한 액세서리, 옵션으로 사용자 정의하여 특정 프로세스 요구사항과 프로덕션 요구사항을 충족할 수 있습니다. 이러한 확장성과 유연성으로 인해 CX-3000 은 R&D 와 대용량 운영 환경 모두에 이상적인 솔루션이 되었습니다. 전반적으로 KOKUSAI CX3000 확산 로는 까다로운 반도체 처리 애플리케이션에 최첨단 기술, 고급 기능, 강력한 성능을 제공합니다. 정밀한 온도 조절, 가스 흐름 관리, 사용자 친화적 인터페이스, 안전 기능을 갖춘 KOKUSAI CX-3000은 지속적으로 발전하는 반도체 업계에서 고품질의 반도체 장치를 달성하기 위한 안정적이고 효율적인 솔루션을 제공합니다.
아직 리뷰가 없습니다