판매용 중고 KOKUSAI CQ1701 TC#1 #293597878

KOKUSAI CQ1701 TC # 1 확산 용광로는 수평으로 장착 된 보트 구성을 사용하며, 다양한 공정 기능을 갖춘 반도체 용광로로 제조됩니다. TC # 1은 최대 1,100 ° C의 온도에서 저온 확산 및 어닐링 프로세스에 적합하며 최대 온도 1,200 ° C를 달성 할 수 있습니다. 현재 등급이 5A 인 경우, 전체 길이 600mm 석영 관형 난방실 (quartz tubular heating chamber) 에 균일 한 온도가 가능합니다. 또한 독립적 인 작동 온도 영역 센서가 장착되어 전체 난방 (heating chamber) 에서 정확한 온도 제어가 가능합니다. CQ1701 TC # 1 은 강력한 2.2kW 히터로 설계되었으며, 정확한 온도 조절을 위한 고급 마이크로프로세서 기반 제어 장비를 갖추고 있습니다. 제어 시스템에는 인라인 LED 알람 패널과 LED 숫자 판독값 (LED numeric readout display) 이 장착되어 있어 챔버 온도 값을 명확하게 표시합니다. 공기대류 (forced-air convection) 팬과 진공 펌프 (vacuum pump) 를 모두 활용하면 내부 챔버 환경의 효과적인 냉각이 가능합니다. TC # 1에는 가스 제어 패널, 필터, 피로미터, 흐름 조절기 및 다양한 유형의 가스 파이핑 및 튜빙을 포함한 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 가스 제어판 (gas control panel) 은 입구 및 콘센트 압력을 정확하게 제어하기 위해 2 단계 가스 전달 장치 (gas delivery unit) 를 갖추고 있으므로 공정 정확도가 향상됩니다. 필터는 정제 공기가 챔버에 들어오고 있으며 온도 균일성에 대한 SPC/SEMI 표준을 충족 할 수 있습니다. 또한 TC # 1 은 수동 (manual) 컨트롤과 자동 (automatic) 컨트롤을 모두 지원하므로 프로세스 정확도와 신뢰성을 더욱 높일 수 있습니다. 요약하면, KOKUSAI CQ1701 TC # 1 확산 용광로는 매우 안정적이고 정확한 반도체 용광로이며, 저온 확산 및 어닐링 프로세스에서 뛰어난 성능을 제공합니다. 첨단 마이크로프로세서 기반 제어기, 하이엔드 구성요소, 다양한 액세서리를 통해 CQ1701 TC # 1 은 다양한 반도체 프로세스에 적합한 선택이 됩니다.