판매용 중고 KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM #182677

KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM
ID: 182677
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Atomic Layer Deposition system, 12" ALD: SiN 2008 vintage.
KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM은 안정적이고 고성능 증착 및 기화 프로세스를 만들기 위해 설계된 최고급 확산 로와 액세서리 키트입니다. 이 제품은 4 구역 장비를 갖추고 있으며, 정확한 온도 조절, 공기 흐름 및 진공 제어 기능을 제공합니다. 내장 12 "RF 발전기를 사용하면 반도체 장치 유형 재료를 포함한 많은 재료를 증착 할 수 있습니다. 확산 과정의 고온 단계는 내장 이색성 반사기 (dichroic reflector) 에 의해 제공되는 다방향 적외선 가열을 통해 달성되며, 고급 피로미터는 챔버에서 균일 한 온도를 보장합니다. 용광로에는 열 손실을 줄이기 위해 안전 도어 (safety door) 와 이중 벽 진공 실 벽 (double-walled vacuum chamber wall) 이 있습니다. 이 키트에는 물 응축기 (water condenser) 와 승화기 (sollimator) 가 포함되어 있어 전도성 물질과 절연성 물질의 강착을 향상시킵니다. 콘덴서와 승화기에는 모두 내장 3 단계 냉각 시스템과 온도 조절 팬이 제공됩니다. 이 장치는 또한 한 번에 여러 층을 배치하는 데 도움이되는 이중 성장 메커니즘을 특징으로합니다. 또한 사용 된 "가스 '혼합물 과" 챔버' 의 압력 에 대한 높은 수준 의 조절 을 제공 한다. 디지털 컨트롤러는 데이터 로깅 (Data Logging) 및 컴퓨터 제어 (Computer Control) 기능을 갖춘 사용자 정의 프로세스와 문제 해결을 위한 사고 보고서를 허용합니다. 터치스크린 (touch-screen) 인터페이스는 사용하기 쉽고, 머신은 최대 10 개의 레시피를 프로그래밍하여 다른 장치로 전송할 수 있습니다. 또한 Aldinna DJ-1206VN-DM에는 도구 제어, 데이터 수집, 프로세스 모니터링을 위한 전체 소프트웨어 패키지 및 라이브러리가 함께 제공됩니다. 전반적으로 KOKUSAI Aldinna DJ-1206VN-DM은 일관된 결과와 뛰어난 성능을 제공하도록 설계된 고도의 확산 로와 액세서리 키트입니다. 4- 존 (Zone) 자산과 다양한 기능을 통해 모든 유형의 재료를 효율적이고 정확하게 배치하고 기화 (Vaporize) 할 수 있습니다. 전체 소프트웨어 패키지, 이중 성장 메커니즘, 안정적인 온도 조절 (temperature control) 을 갖춘 이 모델은 증기 증착 및 확산에 이상적인 선택입니다.
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