판매용 중고 KE DD-823V #9364541
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KE DD-823V 확산 로는 대용량 및 선택적 반도체 웨이퍼 처리를 위해 설계된 강력하고, 안정적이며, 견고한 증착 장치입니다. 독특한 펄스 동적 확산 난방 장비를 사용하여 PECVD, CVD, 빠른 열 어닐링 및 유전체 증착과 같은 광범위한 프로세스에 균일 한 고온 난방을 제공합니다. 또한 DD-823V 는 향상된 수직 드라이브 모터를 장착하여 최대 8 개의 수평으로 장착된 카세트 로딩 게이트를 정확하게 존 (zone) 할 수 있습니다. 이 기능은 다양한 프로세스 간에 신속한 전환을 위해 최대의 유연성을 제공합니다. 용광로에는 안전 및 신뢰성을 보장하기 위해 카세트, 챔버 및 뚜껑을 모니터링하는 3 방향 안전 스위치 시스템도 포함되어 있습니다. 또한, 최대 챔버 온도는 프로세스 요구 사항을 충족하도록 프로그래밍됩니다. KE DD-823V의 통합 제어 장치는 정확한 프로세스 온도 제어 및 사용자 친화적 인 작동을 제공합니다. 또한 프로세스 컨트롤러 (Process Controller) 와 안전 모니터 (내장 센서 포함) 와 프로그램 가능한 경보 및 상태 기능을 제공합니다. 교환 가능한 가스 패널은 더 나은 챔버 균일성을 위해 가열 구역을 제어합니다. 또한 DD-823V 는 터치 스크린 그래픽 사용자 인터페이스를 통해 처리 매개변수에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. KE DD-823V는 혁신적이고 사용자 친화적인 유지 관리 기능으로도 설계되었습니다. 독보적인 자가 모니터링 (self-monitoring) 기능을 통해 비정상적인 상황에 신속하게 대응할 수 있으며, 무중단 유지 보수 및 챔버 (chamber) 조건에 대한 지속적인 모니터링이 가능합니다. 이 장치에는 주기적 청소 및 검사를 위해 이동식 가스 패널도 장착되어 있습니다. 용광로에는 짧은 사이클 도어 (cycle door) 가 제공되어 부품을 빠르고 방해없이 교체 할 수 있습니다. 또한, 퍼니스는 수동 (manual) 또는 자동 (automatic) 모드로 작동 할 수 있으므로 프로세스 요구 사항을 충족하도록 쉽게 조정할 수 있습니다. 요약하자면, DD-823V 확산 퍼니스는 강력하고 신뢰할 수 있는 기계로, 프로세스와 정확한 영역 제어 (zone control) 간의 빠른 전환을 제공합니다. 다양한 제어기, 모듈식 가스 패널, 사용이 간편한 유지 보수 (maintenance) 기능이 장착되어 있습니다. 이 모델은 대용량 및 선택적 영역 반도체 웨이퍼 처리에 적합한 솔루션입니다.
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