중고 IST (확산로 및 액세서리) 판매용

확산 로 (diffusion furnace) 는 반도체 제조 의 핵심 구성 요소 로서, 도펀트 물질 을 "웨이퍼 '로 확산 할 수 있다. IST는 확산 용광로 및 관련 액세서리의 저명한 제조업체입니다. IST는 다양한 프로세스 요구 사항을 충족하는 광범위한 확산 용광로를 제공합니다. 용광로는 정확하고 일관된 확산 프로세스를 제공하여 고품질 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 이 용광로에는 다중 영역 온도 조절, 고도 (high-purity) 가스 전달 시스템, 제어 대기 환경 등의 고급 기능이 장착되어 있습니다. IST는 또한 확산 용로를 보완하는 다양한 액세서리를 제공합니다. 여기에는 석영 튜브, 웨이퍼 보트, 가스 시스템 및 공정 제어가 포함됩니다. 석영 "튜브 '는 확산 과정 중 에" 웨이퍼' 를 붙잡고 수송 하는 데 사용 되어 "웨이퍼 '를 가로지르는 균일 한 확산 을 보장 한다. "웨이퍼 '" 보우트' 는 "웨이퍼 '를 석영" 튜브' 에 적재 하여 적재 하는 데 효과적 이다. 가스 시스템은 확산 공정을 위해 용광로에 필요한 도펀트 가스 (dopant gase) 를 제공하는 반면, 공정 제어는 확산 공정 매개변수를 모니터링하고 제어하는 데 도움이됩니다. IST 확산 용로와 액세서리에는 몇 가지 장점이 있습니다. 높은 공정 반복 가능성, 향상된 공정 균일성 및 뛰어난 도펀트 농도 제어를 제공합니다. 또한, 고급 기능과 정확한 컨트롤은 주기 시간 단축 및 수율 증가에 기여합니다. IST의 VFNC 3030은 확산 용광로 시리즈의 예입니다. 일괄 처리 (batch-wafer) 및 단일 웨이퍼 확산 프로세스 모두에 적합한 매우 효율적이고 다양한 용광로입니다. VFNC 3030은 탁월한 온도 조절, 빠른 램프 속도, 우수한 도펀트 가스 관리 (dopant gas management) 기능을 제공하여 광범위한 반도체 제작 어플리케이션에 이상적입니다.