판매용 중고 INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R #9400070

INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R은 현대 반도체 및 마이크로 전자 장치 제조 공정의 정확한 요구 사항을 충족시키기 위해 특별히 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 제품은 확산 및 기타 제조 과정에서 온도, 압력, 가스 흐름을 정확하게 제어, 모니터링할 수 있는 고급 (advanced) 장비입니다. 안정적인 온도 범위는 25 ° C ~ 1200 ° C이며, Power-Trak은 고성능 반도체 칩, 집적 회로 및 기타 마이크로 일렉트로닉 장치를 만드는 데 이상적입니다. 이 시스템에는 강력한 30kW RF 발전기가 장착되어 있어, 이 프로세스에 대해 매우 정밀하게 제어할 수 있으며, 이를 통해 뛰어난 반복성과 정확성을 얻을 수 있습니다. 또한 빠른 응답 쿼츠 튜브 서모커플 (fast response quartz tube thermocouple), 최첨단 데이터 로깅 소프트웨어, 프로세스 제어 및 모니터링을 위한 GUI (Graphical User Interface) 도 포함되어 있습니다. Power-Trak은 또한 특수 목적의 기계식 터보-분자 펌프를 갖춘 통합 진공기를 갖추고 있으며, 5.0 x 10E-7 Torr의 궁극적 인 진공을 제공합니다. 균질하고 정확한 가열을 보장하기 위해 정확하게 설계된 서셉터 (susceptor) 는 고정밀 확산 보트에 장착되며 RF 발전기에 의해 구동됩니다. 서셉터는 애플리케이션에 따라 수동 (manual) 또는 자동 작업 (automatic operation) 을 통해 제어 및 모니터링할 수 있습니다. Power-Trak 75-30 R은 또한 INDUCTOTHERM 라인업에서 가장 다양한 확산 로이며, 특정 응용 프로그램에 도구를 사용자 정의할 수있는 다양한 옵션이 있습니다. 여기에는 고온 확산, 빠른 온도 변화 응용 프로그램, 고용량 임플란트 및 고급 재료 연구를위한 특수 디자인이 포함됩니다. 또한 질량 흐름 컨트롤러, 고압 가스병, 여러 가열대 (multiple heating zone) 와 같은 추가 구성 요소를 사용하여 자산을 쉽게 업그레이드할 수 있습니다. 전반적으로, INDUCTOTHERM Power-Trak 75-30 R은 탁월한 온도 및 압력 제어, 정확한 데이터 로깅 및 다양한 사용자 정의 옵션을 제공하는 고급적이고 신뢰할 수있는 확산 모델입니다. 이 제품은 대용량 반도체 (semiconductor) 와 마이크로일렉트로닉 (microelectronic) 장치 생산, 재료 연구 및 고급 공정 개발을 위한 완벽한 선택입니다.