판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DF #293711268

소개: HITACHI/KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DF는 반도체 웨이퍼의 정확하고 균일 한 열 처리를 위해 설계된 최첨단 확산 로입니다. 이 첨단 장비 (Advanced Equipment) 에는 다양한 혁신적인 기능과 액세서리가 장착되어 있어 반도체 업계에서 탁월한 성능과 안정성을 필요로 하는 대용량 (Mai-Volume) 생산 환경에 적합합니다. 주요 특징: HITACHI Quixace DJ-1236VN-DF 확산 퍼니스는 최상위 로딩 구성의 수직 퍼니스 시스템으로, 웨이퍼 로딩 및 언로드를 위해 프로세스 챔버에 쉽게 액세스할 수 있습니다. 이 장치에는 다중 웨이퍼 캐리어 (Wafer Carrier) 를 수용할 수있는 대용량 보트 로더 (Boat Loader) 가 장착되어 처리량 및 효율성을 극대화합니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 는 고순도 석영 물질로 구성되어 화학적 반응에 대한 뛰어난 열 단열과 내성을 보장하여 오염을 최소화하고 고순도 처리를 보장합니다. 이 기계는 프로세스 가스 유속 (process gas flow rate) 을 정확하게 제어하기 위해 정확한 질량 흐름 컨트롤러가있는 강력한 가스 전달 툴 (gas delivery tool) 을 갖추고 있어 프로세스 조건을 정확하게 제어 할 수 있습니다. KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DF 확산 로에는 고화질 난방 에셋이 장착되어 있어, 급속한 온도와 폭등으로 와퍼를 빠르고 효율적으로 처리할 수 있습니다. 이 모델은 각 난방 영역 (heating zone) 의 독립적 인 온도 제어 기능을 갖춘 다중 영역 (multi-zone) 난방 구성을 통해 웨이퍼 서피스 전체에 걸쳐 정확한 온도 균일성을 제공합니다. 프로세스 제어 및 모니터링: Quixace DJ-1236VN-DF 확산 로에는 온도, 가스 흐름 속도, 램프 속도 등 프로세스 매개변수를 정확하게 제어 할 수있는 정교한 프로세스 제어 장비가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 프로세스 레시피를 쉽게 프로그래밍하고 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 이 장치에는 고급 온도 조절 알고리즘 (temperature control algorithms) 과 피드백 메커니즘 (feedback mechanism) 이 장착되어 있어 웨이퍼 표면에서 정확한 온도 조절 및 균일성을 보장합니다. 이 기계는 또한 용광로의 안전한 작동을 보장하고 잠재적 인 위험으로부터 자산을 보호하는 통합 안전 인터 록 (Safety Interlock) 도구를 갖추고 있습니다. 액세서리 및 옵션: HITACHI/KOKUSAI Quixace DJ-1236VN-DF 확산 퍼니스는 다양한 액세서리와 옵션으로 제공되어 기능 향상, 특정 프로세스 요구 사항에 맞게 조정할 수 있습니다. 자동 웨이퍼 핸들링을위한 로드 락 챔버 (load lock chamber), 프로세스 챔버 대피를위한 진공 펌프 모델 (vacuum pump model) 및 처리 중 웨이퍼 위치 및 온도를 모니터링하기위한 웨이퍼 매핑 장비 (wafer mapping equips) 가 옵션으로 제공됩니다. 이 시스템은 도펀트 가스 소스 (dopant gas source) 와 캐리어 가스 제어 모듈 (carrier gas control module) 을 포함한 다양한 공정 가스 전달 옵션으로 구성할 수 있습니다. 이 장치에는 처리 주기 내내 웨이퍼를 추적 할 수있는 고급 웨이퍼 추적 장치 (Advanced Wafer Tracking Machine) 가 장착 될 수도 있습니다. 결론: 결론적으로 HITACHI Quixace DJ-1236VN-DF 확산 로는 반도체 웨이퍼 처리에 정확성, 안정성 및 효율성을 제공하는 고성능 도구입니다. 고급 기능, 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface), 다양한 액세서리 (accessory) 를 갖춘 이 자산은 반도체 업계의 열 처리 어플리케이션에서 뛰어난 성능과 제어가 필요한 대용량 생산 환경에 적합합니다.