판매용 중고 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 #9374936

HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620은 광범위한 관련 액세서리를 갖춘 최첨단 확산 로입니다. 용광로는 고온 저압 공정을 사용하여 산업 기판을 어닐링, 청소 및 수동화하도록 특별히 설계되었습니다. 반도체 제작, 야금, 금속 가공 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. CX-9620 의 확산 챔버 (diffusion chamber) 는 75.2 x 11.8 "로, 다양한 산업, 소비자 및 상업용 애플리케이션을위한 대규모 기판 영역을 제공합니다. 챔버에는 고온 절연 장비, 고효율 공기 히터, 수소 및 질소 연결이 추가로 장착되어 있습니다. HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620은 또한 수평 하단 장착 ID 팬을 특징으로하여 확산 챔버 내에서 저압 작동과 가열의 균일성을 제공합니다. CX-9620 컨트롤러는 정밀한 온도 조절 (temperature control) 및 다양한 맞춤형 작동 매개변수를 지원하도록 특별히 설계되었습니다. 또한 자동 프로세스 제어 시스템 (Automated Process Control System) 이 특징이며, 압력 센서 및 가스 센서를 사용하여 확산 챔버 전반에 걸쳐 단위 무결성 및 온도의 균일 한 분포를 유지합니다. 컨트롤러는 안전하고 효율적인 작동을 보장하며, 개방 회로/단락 회로 보호 (Open Circuit/Short Circuit Protection) 및 과열 보호를 위한 회로와 연동 기능을 포함합니다. HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620은 여러 안전 기능도 자랑합니다. 온도가 정해진 setpoint를 초과하면 작업을 종료하는 과열 제한 장치 (over-heat limiter/thermal cutoff) 장치와 과열 모니터링 장치 (over-temperature monitoring machine) 가 있습니다. 또한 CX-9620 은 안전 팬 (Safety Pan) 및 배기 포트 (Exhaust Port) 를 통해 난방 부품과 직접 접촉하지 않도록 보호합니다. 챔버 및 컨트롤러 외에도 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620에는 다양한 필수 액세서리가 제공됩니다. 이 단위에는 기판을 제자리에 고정시키고 각 기판 표면에서 가열의 균일성을 보장하기위한 플라텐 (platen) 어셈블리가 포함됩니다. 또한 다양한 샘플 홀더, 도가니 (crucible) 및 기판이 다양한 샘플 유형에 이상적입니다. 또한 CX-9620 에는 전원 케이블, Gas Line, 장치 설치 및 유지 보수 툴이 함께 제공됩니다. 전반적으로 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 확산 용광로는 산업 기판을 어닐링, 청소 및 수동화하는 데 이상적인 솔루션입니다. 견고한 디자인과 다양한 액세서리 (액세서리) 를 통해 안전성과 안정성이 뛰어납니다.