판매용 중고 HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 #9227170

HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620은 광범위한 어플리케이션을 갖춘 혁신적인 확산 로와 액세서리 장비입니다. 이 "시스템 '은 반도체 및 기타 고급 재료 의 생산 과 관련 된 용해, 확산 및 기타 공정 의 질 을 향상 시키도록 설계 되었다. CX-9620 은 확산 프로세스의 효율성과 정밀성을 높이기 위해 최신 설계/기술 (Advanced in Design and Technology) 을 도입했습니다. HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620은 고급 제어 및 전자 부품을 갖춘 수평, 수직 또는 기타 다중 축 설계 확산 로입니다. 높은 녹기 및 확산 정확도를 제공하는 닫힌 유형, 와이어 활성화, 어닐링 및 확산 로입니다. 통합 제어 장치는 매우 정확한 온도 및 압력 성능 제어를 허용합니다. CX-9620 은 내부 플루오린 감지 (in-situ fluorine sensing) 배열을 통해 DC 소스 및 필라멘트 전류의 정확한 측정 및 피드백을 가능하게 하며, 제어 및 응답 시간을 단축합니다. 또한 상부 대기 및 하부 대기 모두를 독립적으로 제어 할 수있는 2 개의 독립적 인 가스 흐름 미터 (flow meter) 가 포함되어 있습니다. HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620 (HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620) 은 다양한 온도에서 균일 한 용융을 제공하여 고온 작동이 필요한 공정 특정 화학 물질 또는 반도체 재료를 수용 할 수 있도록 설계되었습니다. 이 용광로는 또한 최대 4 인치 두께의 quartzite 배플을 수용 할 수있는 대형 quench 팬을 갖추고 있으며, 최적의 열 소산을 제공합니다. CX-9620 은 최적의 정확성과 반복성이 필요한 확산 애플리케이션에 적합합니다. 용해 과정 중 의 압력 과 온도 를 정밀 하게 제어 함 으로써, "로오니스 '는 가공 하는 물질 을 부드럽게 확산 할 수 있게 한다. 이 기계의 성능은 냉각 과정에서 균일 한 공기 분포를 보장하는 2 단계 강제 공기 순환 도구 (forced air circulation tool) 에 의해 더욱 향상되었습니다. HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620에는 외부 디지털 디스플레이 컨트롤 패널이 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 모든 작동 매개변수 (operating parameters) 에 빠르고 쉽게 액세스할 수 있으며, 원하는 목욕 온도를 빠르고 쉽게 조정할 수 있습니다. 또한 CX-9620 은 확산 프로파일 (diffusion profile) 설정을 수동으로 조정하고 데이터 리콜을 자동화하여 정확성과 반복 가능성을 높입니다. 결론적으로, HITACHI KOKUSAI ELECTRIC CX-9620은 재료의 용융 및 확산을 포함하여 모든 프로세스에서 품질 향상을 제공하는 강력한 확산 로와 액세서리 자산입니다. 이 모델은 금속 또는 기타 특수 설계 재료의 정밀 확산에 이상적이며, 사용자 친화적 인 작업, 직관적인 제어 시스템 (Control System) 과 함께 작동하도록 설계되었습니다. 첨단 디자인과 고급 (Advanced) 기능을 통해 다른 시스템보다 효율적이고 반복 가능한 용융/확산 프로세스를 제공할 수 있습니다.