판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186180

HITACHI/KOKUSAI DJ-833V 는 확산 용광로이며, 모든 애플리케이션에 대해 안정적이고 정확한 프로세스 및 모니터링 제어를 제공하도록 설계된 액세서리입니다. 600 ° ~ 1500 ° C 사이의 넓은 작동 온도를 특징으로하여 온도가 빠르게 변경되고 재현 가능한 결과를 얻을 수 있습니다. 급속한 열 상승 (rapid heat up) 과 냉각 (cool down) 기능을 통해 챔버 내의 균일 한 대기를 제공하도록 설계되었으며, 뛰어난 온도 균일성은 탁월한 확산 능력을 제공합니다. HITACHI DJ-833V 의 지능형 프로세스 제어 장비 (Intelligent Process Control Equipment) 는 열 프로세스를 최적화하고 작업을 단순화하도록 설계된 몇 가지 사전 설정 및 맞춤형 프로그램을 갖추고 있습니다. 또한, 이 시스템에는 정밀한 가스 농도와 유속 (flow rate) 을 정확하게 제어하는 이중 모드 기능이있는 특수 가스 흐름 모니터 (gas flow monitor) 가 포함되어 있습니다. 5 면 인테리어 쿼츠 디자인의 대형 챔버 (large chamber) 는 최대 4 개의 스택형 공정 웨이퍼를 포함 할 수 있으며, 수동 웨이퍼 (manual wafer) 전송 메커니즘을 장치에 통합하여 웨이퍼 처리를 쉽게 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 고효율, 저소음 강제 냉각을 특징으로하며, 챔버 전체에 균일 한 온도 환경을 보장합니다. KOKUSAI DJ 833V도 쉽게 유지 관리할 수 있도록 설계되었습니다. 여기에는 챔버 월 (chamber wall), 하단 (bottom) 및 공정 튜브 (process tube) 용 공구 클리닝 프로그램이 포함되며 추가 프로그램 업데이트 키트를 사용하여 자산을 업그레이드할 수 있습니다. 또한, 이 모델에는 기존 시스템과 최신 데이터 로깅 (Data Logging) 기술을 모두 통합하여 안정적이고 안정적인 프로세스를 보장하는 최고의 프로세스 모니터링 장비가 포함되어 있습니다. 결론적으로, DJ-833V 는 탁월한 정확성과 완벽한 프로세스 제어를 위해 설계된 첨단 확산로 (DJ-833V) 및 액세서리입니다. 뛰어난 온도 균일성, 공정 제어 시스템 (process control system), 대형 챔버 크기 (chamber size), 손쉬운 유지 보수 기능을 통해 모든 프로세스 및 확산 응용 프로그램에 이상적인 선택이 가능합니다.