판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-833V #9186179

HITACHI/KOKUSAI DJ-833V는 반도체 산업을 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 즉, 처리 중인 재료의 온도를 복잡하고 정확하게 제어하고, 안정적이고, 안전하고, 반복 가능한 성능을 보장해 주는 고사양 (High-End) 방식의 디바이스입니다. 고유한 설계를 통해 각 컴포넌트 사이에 최적의 간격을 두어 열 환경 (thermal environment) 을 완벽하게 제어할 수 있습니다. HITACHI DJ-833V (HITACHI DJ-833V) 는 불순물을 제거하는 고온에서 반도체 및 전자 제품과 같은 재료를 처리하도록 설계되었습니다. 조이스틱 (joystick) 을 사용하여 원활한로드 및 언로드를위한 2 쉘 내부 및 전면 벽이있는 수직 타입 퍼니스입니다. 수직 (vertical) 유형으로, 전체 챔버가 로드 및 언로드 도어와 관련하여 평행하게 배치됨을 의미합니다. 이러 한 확산 로 의 구조 는 가공 물질 의 오염 을 방지 하는 데 도움 이 되며, 약실 의 가공 "가스 '의 간섭 을 감소 시킨다. 이 용광로에는 고급 다운 플로 (downflow) 장비가 장착되어 있으며, 매우 안정적이고 반복 가능한 열 균일성을 장려하는 최적의 프로파일 가스 농도를 효율적으로 유지합니다. 챔버 내부의 온도는 고급 디지털 FX 시리즈 온도 컨트롤러 (FX Series Temperature Controller) 를 통해 높은 정확도로 조절되며, 단독으로 챔버 내 온도 안정성을 완벽하게 제어합니다. 온도 컨트롤러 (Temperature Controller) 는 열 고압 구역에서 공기 화장을 제어함으로써 더 나은 균일성을 위해 꾸준한 공기 흐름을 유지할 수 있습니다. KOKUSAI DJ 833V는 또한 스윙 형 고효율 다이렉트 히터를 특징으로하며, 쿼츠 또는 쿼츠 코팅 텅스텐 필라멘트와 함께 정확하고 반복 가능한 열 공정을 생성합니다. 이 유형의 히터는 우수한 균일성 (unifority) 과 빠른 복구 시간 (recovery time) 으로 인해 적극 권장됩니다. 또한 온도 및 히터 코일 (heater coil) 상태와 같은 것을 검사하는 모니터링 시스템으로 보호됩니다. 히터는 진공 상태 세라믹스 (Ceramics) 와 내부적으로 절연되어 일정한 온도를 유지하고 낮은 수준의 노이즈 레벨에서 작동하는지 확인합니다. 전반적으로 HITACHI/KOKUSAI DJ 833V는 반도체, IC 칩 등과 같은 재료를 안정적이고 정확하게 처리하도록 설계된 고급 확산 용광로 및 액세서리 장치입니다. 상세하고 특별히 설계된 구조는 고급 온도 조절기 (Temperature Control Machine) 와 결합하여 최대 1200 ° C의 온도 범위에서 정확하고 반복 가능한 성능을 제공합니다.