판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-825V #9294270

HITACHI/KOKUSAI DJ-825V는 반도체 제조에 적용되는 확산 용광로 및 액세서리입니다. 소형 설계가 특징이며, 전자 장치에 산화물 및 질화물 확산을 통제 할 수 있습니다. 폭이 75mm 인 전면 로딩 카세트와 결합 된 소형 바디가 있습니다. 최대 1,200 ° C의 온도 조절을 통해이 확산 로는 소규모 품목의 확산 프로세스에 적합합니다. 실제 용광로에는 최대 2 개의 카세트를 수용 할 수있는 단일 대기 상자가 장착되어 있습니다. 황삭 펌프 (roughing pump) 는 균질한 확산을 보장하기 위해 확산 로를 통해 가스 스트림을 제어합니다. 방은 질소 또는 다른 비활성 가스 (inert gase) 로 가스 제거가 가능하며, 높은 열 처리 수준을 유지할 수 있습니다. 내장형 질량 흐름 속도 (Mass Flow Rate) 컨트롤러는 저온 상태에서도 가스 흐름을 안정화시키며, 완전한 컴퓨터 제어 (Computer Control) 하에서 작동하여 정확한 제어 및 피드백을 허용합니다. 그런 다음 시스템을 유지 보수를 위해 진공 펌프에 연결합니다. HITACHI DJ-825V 확산 로는 고효율 히터로 구동되며, 단상 AC 입력 200VAC, 50/60Hz로 작동합니다. 원하는 온도에 도달하면 절전 (power saving) 을 위해 히터가 자동으로 꺼집니다. 용광로는 또한 "가열 속도 모니터 (Heating Rate Monitor)" 를 특징으로하며, 반응 온도까지 가열 속도를 제어하여 포인트 접촉 열 폭주 현상을 방지합니다. 게다가, 이 기계는 히터가 전원에서 분리된 경우에도 과열 차단, 가스 차단, 지상 결함 경보/인터 록 (interlock) 을 포함한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 또한, 비 층화 절연 물질의 사용은 저온 열 손실의 위험을 제거한다. 간편하고 안전한 운영을 위해 KOKUSAI DJ-825V 확산 로에는 단순하고 사용하기 쉬운 제어판이 장착되어 있습니다. 고급 다중 출력 타이머와 자동 스토퍼가 모두 포함됩니다. 전반적으로, DJ-825V 확산 로와 액세소리는 반도체 산업의 소규모 공정을위한 강력한 열 처리 도구입니다. 에너지 절약, 안전, 신뢰성이 뛰어나므로, 탁월한 전자 결과를 얻는 데 필수적입니다.