판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-823V #9157634

HITACHI / KOKUSAI DJ-823V
ID: 9157634
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1996
CVD System, 8" DASI / Doped a-Si, N2, SiH4, Si2H6 1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-823V (Hitachi/KOKUSAI DJ-823V) 는 액세서리를 갖춘 확산 로로, 다양한 응용 분야를위한 금속 및 도자기의 증착과 합금을 통해 반도체 재료를 만들도록 설계되었습니다. 최대 2500 ° C의 온도에 도달 할 수있는 고온 유전체 (high temperature dielectric stack) 를 포함하여 다양한 고급 기능을 갖추고 있습니다. 처리 중 시각적 검사를위한 석영 창; 정밀한 온도 조절을 보장하는 조절 가능한 속도 전원 공급 장치. 또한 HITACHI DJ-823V (HITACHI DJ-823V) 는 열 스트레스를 최소화하고 불균일 한 가열로 인한 잠재적 프로세스 매개 변수를 제거하기 위해 대용량 서셉터를 갖추고 있습니다. 코쿠사이 DJ-823V (KOKUSAI DJ-823V) 는 최첨단 기계이며, 강력한 용광로는 넓은 온도 범위에서 균일 한 가열을 달성하여 모든 온도에서 우수한 생산 수율을 달성 할 수 있습니다. 빠른 적신 시간 (soak time) 을 가능하게하여 더 빠른 처리량을 제공하는 강력한 퍼니스 드라이브 시스템을 사용합니다. 또한, 통일성 향상 및 빠른 냉각을 위해 별도의 드라이버가있는 전용 냉각수 (coolant circulation bath) 를 통해 효율적인 공정 후 냉각이 달성됩니다. 또한 DJ-823V는 안전과 편의를 염두에 두고 설계되었습니다. 직관적인 터치 스크린 인터페이스 및 하드 차폐는 운영자에게 사용 편의성 및 보호 기능을 제공합니다. 용광로에는 누출 탐지기 및 연동 스위치도 포함되어 있으므로 위험한 사고의 위험이 줄어듭니다. 마지막으로, 유연성 있는 설계를 통해 기존 시스템과 손쉽게 통합하고 호환할 수 있으며, 특정 애플리케이션에 맞게 맞춤형으로 구성할 수 있습니다 (영문). 전반적으로, HITACHI/KOKUSAI DJ-823V는 고급 기능과 손쉬운 통합을 갖춘 강력하고 안정적인 정밀 확산 로로, 광범위한 반도체 소재 및 합금 생산에 이상적인 도구입니다.
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