판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V #293764658
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ID: 293764658
빈티지: 1996
Furnace
Heater
Process chamber
Cooling water unit
Scavenger
Temperature controller
Gas supply unit
Exhaust
Vacuum line
Temperature controller
Power box
Rapid cooling unit
Pump box
Gases:
N2
SiH4
PH3
CIF3
Heater power supply: 10 AC, 200 V, 200 A
Controller power supply: 10 AC, 100 V, 30 A
1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V (Hitachi/KOKUSAI DJ-802V) 는 고품질의 박막, 확산 등급 실리콘 웨이퍼를 생산하기 위한 탁월한 선택으로, 기판 제조 산업의 발전하는 요구를 충족시키기 위해 설계되었습니다. 이 용광로는 소형 디자인이며 특허를받은 고온 내부 루프 (internal loop) 구조를 사용하여 최대 1520 ° C에서 작동합니다. 이렇게 하면 용광로의 외부 온도를 최소한으로 유지하면서, 강력한 고온 작동이 가능합니다. 이 용광로에는 확산 용광로의 독특한 요구를 위해 특별히 설계된 프로그래밍 가능한 전력 장치 (programmable power unit) 와 고온 진공 배기 장비 (high-temperature vacuum exhaust equips) 가 있습니다. 이 시스템은 충전 중 보다 일관된 온도를 보장하여 균일성을 향상시킵니다. HITACHI 는 이 확산 광로 외에도 HITACHI DJ-802V 용 액세서리 (특히 장치의 성능과 효율성을 향상시키기 위해 설계된) 도 많이 제공합니다. 예 를 들어, 이 회사 는 크기 와 재료 에 걸친 여러 가지 도가니 (도가니) 를 제공 하는데, 이 도가니 는 최대 2 "킬로그램 '의 재료 를 보유 하도록 설계 되었다. 이 도가니 들 은 열분해 를 막는 데 도움 이 되는 고급 "코우팅 '을 표준 으로 한다. 제공되는 다른 액세서리에는 석영 튜브, 텅스텐 필라멘트, 몰리브덴 (molybdenum) 과 같은 다양한 가열 요소가 포함됩니다. 각 가열 요소는 성능 측면에서 뚜렷한 이점을 제공하며, 쿼츠 튜브 (quartz tube) 는 훨씬 더 다양한 옵션입니다. KOKUSAI는 또한 질소, 아르곤 또는 수소를 용광로에 분배하는 데 사용될 수있는 가스 처리 시스템 (예: 대류 공기 강제 흐름 또는 지상 비활성 캐리어) 을 제공합니다. 이 시스템은 좋은 확산 조건이 설정되고 유지되도록 설계되었습니다. 마지막으로 HITACHI/KOKUSAI는 독점적 인 HMI (Human/Machine Interface) 머신을 제공하여 KOKUSAI DJ-802V를 보다 효과적으로 작동하고 모니터링할 수 있습니다. 이 도구는 7인치 (7 인치) 터치스크린과 함께 제공되며, 사용자가 용광로 (furnace) 의 상태에 대한 최신 정보와 필요한 조정 작업을 수행할 수 있습니다. 또한 지난 실행을 검토할 수 있는 소프트웨어, 향후 사용을 위한 프로세스 레시피 저장 (Store Process Recipe for Future Use), 범위를 벗어나는 매개변수에 대한 프로그램 경고 (Program Alarm) 도 포함되어 있습니다. DJ-802V (DJ-802V) 는 뛰어난 확산 로이자 많은 기판 제조 회사의 선택입니다. 사용하기 쉬운 인터페이스, 고온 작동, 다양한 액세서리를 갖춘 HITACHI/KOKUSAI DJ-802V는 안정적이고 효율적인 확산 로를 찾는 모든 사람에게 탁월한 옵션을 제공합니다.
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