판매용 중고 HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H #9226003

HITACHI / KOKUSAI DJ-802V-H
ID: 9226003
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1996
Vertical LPCVD furnace, 6" Process: HLD 1996 vintage.
HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H는 실리콘 웨이퍼에 열 처리를 제공하도록 설계된 확산 용광로입니다. 고순도 확산 코팅 생산을위한 완벽한 도구입니다. HITACHI DJ-802V-H에는 빠른 온도 사이클링을 위해 저항적으로 가열 된 흑연 서셉터 및 냉각 팬이 장착되어 있습니다. 최대 1000 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 높은 열효율 및 열 균일성이 필요한 어플리케이션에 적합합니다. KOKUSAI DJ-802V-H는 저항성 가열 된 흑연 서셉터와 효율적인 온도 사이클링을 위해 냉각팬을 함유 한 특수 흑연 도마뱀으로 구성되어 있습니다. 도가니 (crucible) 는 전자, 기계, 냉각 및 전원 부품을 포함하는 프레임에서 지원됩니다. 내부에 무제한 접근 할 수있는 수직으로 열린 도어가 있습니다. DJ-802V-H의 온도는 2 개의 독립적 인 열전대 및 PID 조절에 의해 제어되며, 이는 정확하고 반복 가능한 온도 조절 기능을 제공합니다. 또한 프로그래밍 된 온도 프로파일을위한 2 개의 PID 램프가 있습니다. 가청 경보, 저소음 물 순환 장비 및 온도 보호 시스템이 있습니다. HITACHI/KOKUSAI DJ-802V-H의 디자인은 동심도 및 열 균질성 향상을 위해 특수 흑연 도가니 및 프레임을 기반으로합니다. HITACHI DJ-802V-H에는 스테인리스 스틸 액세서리 바구니, 쿼츠 사이리스터 인슐레이터 튜브, 샘플 레토르트 홀더 및 RFID 자동 감지 장치 등의 추가 액세서리가 장착되어 있습니다. 샘플 레토르트 홀더 (sample retort holder) 는 단단히 밀봉 된 환경에서 샘플의 균일 한 가열을 제공하도록 설계되었습니다. RFID 자동 감지 기계는 흑연 감지기 (susceptor) 에 사용 된 화학 물질의 올바른 복용을 보장합니다. 결론적으로, KOKUSAI DJ-802V-H는 실리콘 웨이퍼에서 높은 순도 코팅에 이상적인 최첨단 확산 퍼니스입니다. PID 규제, 저소음 수 순환, RFID 자동 감지 도구 등 다양한 고급 기능과 액세서리가 장착되어 있습니다. 또한 가변 온도 조절 (variable temperature control) 과 우수한 수준의 열적 균질성 (thermal homogeneity) 이 제공되어 다양한 열 처리 응용 분야에 완벽한 솔루션이되었습니다.
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